真空泵抽速33L/s
均匀性小于5%
冷阱温度-90℃
是否定制可定制
裂解区较高温度1200℃
产品别名真空镀膜机/多弧离子镀膜机/镀膜线/其他
类型真空镀/光学度/电镀/铭镀/其他
适用原料塑胶/金属/其他
镀种真空镀膜/镀镍系列/镀银系列/其他
适用范围五金/展架/玻璃/塑料/其他
功率不限制
规格不限制
电子的头安装好坏直接影响到工作的正常进行，其发生的故障有90%同电子头有关。电子头有使用一段时间后，会因为组件的污染而影响电子束的成型及功率，需要拆卸清洁。
（二）坩埚的维护
AE电源系统: AE电镀电源、AE射频电源 RFG：RFG 80、RFG 1250、RFG 1250 HALO、RFG 1251、RFG 3000、RFG 3001、RFG 5500、RFG 2K-2VRFDS 1250、RFDS 1250-A、RFDS 3000、RFDS 2Kw-2KV
APEX：Apex 1513、Apex 2027、Apex 3013、Apex 4027、Apex 5513、Apex 7kW/13、Apex 10kW/13、Apex 3513、Apex 10013、Apex 8013
Atlas 2、Atlas 1513、Atlas 3013、Atlas 2504、Atlas 2027、Atlas 2012、Atlas 4012、Atlas 5002、Atlas 5012、Atlas 5013、Atlas 5027、Rapid F
RFX：RFX 600、RFX 600A、RFX 1250、RFX 2500、RFX 5500、RFG-AZX
RFX II：RFX II 1250、RFX II 3000、RFX II 5500
HFG：HFG 2500、HFG 5000、HFG 4M
HFV：HFV-3K、HFV-5K、HFV-8K、HFV-L 3KW
Ovation VHF:VHF-2760W、VHF-2060、VHF-2560、VHF-35162
ICP Generator:ICP-1KW、ICP-1.5KW、ICP-1.6KW、ICP-2KW
Dressler HPG:HPG 03300、HPG 13150、HPG 13300、HPG 27300
Dressler Cesar: Cesar 0210、Cesar 0220
美国COMDEL射频电源: 应用对象包括：刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统，也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源
CLX系列低频电源、CLF系列低频电源、CX系列高频电源、CX5K和CX10K高频射频功率源、CXH系列高功率/高频电源、CPS系列高频电源、CB系列高频射频电源、CV系列甚频（VHF）电源、CDX系列双频电源、XDC1000直流电源、MATCH自动调谐网络、ESC系列静电夹盘电源
日本AQUAMICA真空镀膜机
日本新柯隆SHINCRON真空镀膜机
日本光驰OPTORUN真空镀膜机
日本爱发科ULVAC真空镀膜机
日本昭和SHOWA真空镀膜机
导致的结果就是，引起噪声和流量脉动，甚至对速度的稳定也产生了较大的负面影响。还有，目前多数的变频器采用的是电压型逆变器供电，在低频的情况下，会引起强烈的振动和噪声，这些都是比例调速所凸显的问题，对日常的工作来说，具有较大的负面影响。但变频调速在这个方面做了很大程度上的努力，就低速稳定性问题本身而言，并没有办法完全避免，但是如果在相关的技术领域进行革新，日常工作当中严加注意，相信可以处理好或者大限度的避免这类问题。在多数情况下，变频调速系统在某一特定范围内才会出现系统运行不稳定的区域。主要是与电机参数和运行条件有关，控制好上述几个因素，就可以处理好低速稳定性问题。相对比例调速来说，变频调速更容易控制。
普发(PFEIFFER)分子泵系列：TMH063、TMH064、TMH071，TMH260，TMH261，TMH300，TMH301，TPH170
莱宝分子泵系列：TW70，TW250S，Turbovac 360,Turbovac 361.
ALCATEL ADIXEN分子泵系列ATP150 、 ATP100 、 ATP80 、 ATP400 、 ATP900
Ion Beam Drive : ID-3500,ID-3501,IT-2500,IT-3500 DC(直流系列) :
MDX Series: MDX500，MDX 5KW,MDX 10KW, MDX13KW，MDX II 15KW, MDX II 30KW ,MDX 1K,MDX 1.5K ,MDX Delta MDX II Series: MDX II 15kw，MDX II 18P
PINNACLE Series: Pinnacle 6KW,Pinnacle 12KW,Pinnacle 10KW,Pinnacle 20KW,Pinnacle 8KW,Pinnacle 15KW
PINNACLE 3000 PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW,Pinnacle Plus+ Dual output 5KW,Pinnacle Plus+ 10KW
DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW,Pinnacle Diamond 10KW,Pinnacle Diamond 15KW
MDX-L Series: MDX-L6,MDX-L 6kW HALO,MDX-L12,MDX-L 12M,MDX-L 12M 650,MDX-L18
SPARC Series: Sparc-le 20,Sparc-le V,Sparc VSE'Wave DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR
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