精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
BAG402 中到**高真空真空计
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402 涵盖从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）的广泛测量范围。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装，在低成本、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。*特的双丝较结构提供更优异的精度、长期稳定性和长使用寿命。
AIM冷阴极真空计
Edwards AIM倒磁控管冷阴极真空计，在一个紧凑的装置中包含规头和控制器。从科学仪器到工业制程的多种应用场合，均已证明AIM真空计坚固可靠。标准AIM真空计具有线性输出，nAIM支持RS232和RS485信号输出，易于与计算机或 PLC 结合使用。
宽范围的真空测量，可测量2 × 10E-11Torr
成本经济、性价比高
工业标准电极电压和宽范围的发射电流：10uA至10mA
真空行业众所周知的特性特点
离子收集较良好的漏电屏蔽
耐烧型灯丝和真空行业标准接口
所有产品都可以进行EB除气，一些产品还能进行焦耳除气
APG100系列结构紧凑，便于安装，提供线性输出，传感器管可以更换。可以连接 Edwards 的 TIC 、ADC仪器控制器以及其他真空计控制器和显示器。还获得了 CSA, C/US 认证，因为其结构中不含铅，因此安全也符合 RoHS认证。
冷阴极技术
冷阴极技术传统上比热阴极提供更长的寿命，因为没有灯丝烧毁。GP 500系列冷阴极压力计(CCG)基于创新的技术和经过时间考验的校准技术，定义了一个新的精度标准。此外，从来没有一个好方法来确定什么时候冷阴极压力表磨损到精度明显下降的程度。通过一种新的正在申请专利的方法来确定随时间变化的压力量，并将其与用户选择的环境因素相结合， GP500提供了仪表何时需要维修或更换的指示信号。
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要精确测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规监控，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被精确地测量。VSR快速的响应时间以及精确的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎*维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
http://kssunnyjx.cn.b2b168.com
