精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
SKY® CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON SKY CDG200D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG200D 真空计温度控制在 200 °C，具有的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用**纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质，较具成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
特点
涵盖从5 × 10E-10mbar至大气压的压力范围
得益于紧凑设计而实现的节省空间安装
复合形式的真空测量，成本效益比
由于集成电子驱动单元，应用范围广泛
VD85 1200到5 x 10-4 mbar 压阻/皮拉尼复合传感器
应用实例
真空泵的系统性维护和维修能够帮助避免生产过程中的故障，并提高系统整体的可用性
挑战
为了真空泵的诊断和维护工作，需要纪录其达到的压值和泵的抽速特征。这些数据提供了真空泵实际运行环境和工作性能的基本信息。
解决方案
一只带有宽量程复合传感器的VD85真空计能够捕捉很多类型真空泵的压力，例如隔膜泵、涡旋泵、旋片泵等。同时，它能按照需要测量或者应客户要求纪录真空泵从大气到极限真空的整个抽真空过程。在这种情况下，真空计被用作数据记录器，在它的内存中存储测量值。通过USB接口，数据可以被传送到一台电脑上用于进一步分析和归档。
应用领域
检漏
质量**
服务和维护
真空蒸发器
镀膜设
可选的输出信号，易于集成，可选大气开关、显示屏和数字接口，合规和标准：CE、EN、UL、CSA、RoHS
冷阴极技术
冷阴极技术传统上比热阴极提供更长的寿命，因为没有灯丝烧毁。GP 500系列冷阴极压力计(CCG)基于创新的技术和经过时间考验的校准技术，定义了一个新的精度标准。此外，从来没有一个好方法来确定什么时候冷阴极压力表磨损到精度明显下降的程度。通过一种新的正在申请专利的方法来确定随时间变化的压力量，并将其与用户选择的环境因素相结合， GP500提供了仪表何时需要维修或更换的指示信号。
VSP 1000到1x10-4mbar 皮拉尼
应用实例
塑料元件经常被加以金属镀膜，这抑或出于美观考虑，抑或为了屏蔽敏感元件免受干扰。
挑战
金属镀膜是在一个PVD镀膜系统中进行。它首先由一个旋片泵通过旁路抽至10-2mbar。然后由涡轮分子泵进一步抽至10-5 mbar。镀膜工艺通常在2x10-4 mbar下进行，此时需要连续地监控真空状态，以确保镀膜工艺持续不断地高质量运行。为了避免涡轮分子泵**负荷，例如在不恰当的系统压力下切换到分子泵等，旁路中的压力以及涡轮分子泵的前级真空都需要被监控。
解决方案
用一个VSP 皮拉尼真空规控制旁路中的真空是否足以切换到涡轮分子泵。另一个VSP直接在涡轮分子泵处监控分子泵所需要的前级真空。一个VSM宽量空规测量系统内的极限真空度以及在镀膜过程中的压力。一台VD10多通路真空计用来做控制模块。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
前级真空控制
真空系统中的安全开关
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