比重0.86
用途管道泵
输送介质油泵
实际价格来电面议
性能自动
VDN301 / VDN401 油旋片式真空泵
特长
实现了低噪音
由于彻底的低噪音设计和精密的加工,从而达到了低噪音化。
的保养、维修性能
因为能在真空泵与其他设备的连接管道不拆除的情况下,将泵的主体部分取下,所以清洗保养及油封等的更换变的非常容易。为使日常保养工作方便容易,油量确认、油补充、油更换的方向为同一操作方向。
为延长使用油的补充期,采用了1.0~2.5升可变油量方式。
能对应全压强领域的连续运转
采用高吸气压强也能稳定运转的强制供油方式。选用油雾过滤器、油回收装置及耐热密封件后,就能在大气压以下的全压强范围内连续运转。
用途
• 镀膜、溅射、离子镀。
• 气体置换、充填、真空隔热。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
• 分析仪器、检漏装置。
• 真装、真空吸附。
• 搬运、真空成形、真空铸造等。
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GLD系列油旋片式真空泵
特长
GLD系列是一种高性能、高质量、高可靠性的油旋片式真空泵。为了更好地提高散热效果,GLD系列产品在散热片部分进行了创新设计,从而实现了同类产品无可比拟的高真空。它还具有油位观察大,便于确认油污染状况、低震动、低噪音等优点。
用途
冰箱、空调、饮水机自动抽空线、照明理化学实验用、分析仪器用、激光应用机器、真空排气设备、电子显微镜的泵、半导体制造设备、溅射设备、真空镀膜设备、真空干燥器。
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NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体(CVD、刻蚀等)。
• 排出非活性气体(溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)。
• 用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)
• 作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
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ULVAC罗茨泵维修
PMB系列:PMB100D、PMB300D、PMB600D、PMB1200D、PMB2400D
PRC系列:PRC-003A、PRC-006A、PRC-012A、PRC-018A
PMB-C系列:PMB-040C、PMB-060C
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