精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
Edge CDG100D2 1 … 1000 托 / 毫巴
INFICON Edge 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的较其准确的真空测量仪表。成熟的控温、防腐蚀、**纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有**的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获**的*特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节，另外还有 EtherCAT 现场总线接口可供选择。创新的加热概念能够使接触表面保持低温，并节约宝贵的工具空间。INFICON Edge 是同类产品中小的真空测量仪器。
对流增强的皮拉尼技术可在大气压下实现宽测量范围和更高的精度
内置显示器的一体式主动式测量仪，2 个设**，4 个模拟输出信号和 2 个数字接口
带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏，简化设置校准和操作
4 个可选的模拟输出信号（3 个用户可选，1 个默认）
出厂预设模拟输出信号或通过键盘进行选择
工厂预设的显示单位或通过键盘进行选择
用户可编程的设**继电器（工厂根据量订单的要求预设）
镀金钨丝
机械强度高、坚固耐用、不易受机械冲击和振动影响
各种法兰的选择
合规和标准：CE、RoHS
直接取代大多数 Granville-Phillips® Mini-Convectron® 模块 (GP275)
应用
适用于处于 1 x 10-2 to 1 x 10-9 mbar 范围内的所有需要可靠稳定的压力指示的真空应用。
典型制程包括：
一般真空到工业镀膜机
真空炉
科学仪器
半导体等各种应用。
特点
真空压力测量至10E-9Torr
双灯丝增加设备的正常运行时间
**洁净结构在抽气过程中实现快速响应
坚固耐用的金属结构，抗射频和噪音符合CE标准
可选本地显示器有助于设置和诊断
数字接口可用于计算机控制系统
VD85 1200到5 x 10-4 mbar 压阻/皮拉尼复合传感器
应用实例
真空泵的系统性维护和维修能够帮助避免生产过程中的故障，并提高系统整体的可用性
挑战
为了真空泵的诊断和维护工作，需要纪录其达到的压值和泵的抽速特征。这些数据提供了真空泵实际运行环境和工作性能的基本信息。
解决方案
一只带有宽量程复合传感器的VD85真空计能够捕捉很多类型真空泵的压力，例如隔膜泵、涡旋泵、旋片泵等。同时，它能按照需要测量或者应客户要求纪录真空泵从大气到极限真空的整个抽真空过程。在这种情况下，真空计被用作数据记录器，在它的内存中存储测量值。通过USB接口，数据可以被传送到一台电脑上用于进一步分析和归档。
应用领域
检漏
质量**
服务和维护
真空蒸发器
镀膜设
VSP 1000到1x10-4mbar 皮拉尼
应用实例
塑料元件经常被加以金属镀膜，这抑或出于美观考虑，抑或为了屏蔽敏感元件免受干扰。
挑战
金属镀膜是在一个PVD镀膜系统中进行。它首先由一个旋片泵通过旁路抽至10-2mbar。然后由涡轮分子泵进一步抽至10-5 mbar。镀膜工艺通常在2x10-4 mbar下进行，此时需要连续地真空状态，以确保镀膜工艺持续不断地高质量运行。为了避免涡轮分子泵**负荷，例如在不恰当的系统压力下切换到分子泵等，旁路中的压力以及涡轮分子泵的前级真空都需要被。
解决方案
用一个VSP 皮拉尼真空规控制旁路中的真空是否足以切换到涡轮分子泵。另一个VSP直接在涡轮分子泵处分子泵所需要的前级真空。一个VSM宽量空规测量系统内的极限真空度以及在镀膜过程中的压力。一台VD10多通路真空计用来做控制模块。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
前级真空控制
真空系统中的安全开关
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