辽源探头 真空规管 354 Micro-ion

BPG402-Sx 大气压至**高真空真空计
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5×10-10 mbar至大气压（3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。为负担不重且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S，以经济的方式执行基本压力测量。传感元件带有板载校准数据，保证更换传感器时的高再现性。
紧凑尺寸、高性能和坚固耐用、全金属外壳使得Micro-lon模块成为众多高真空应用的明智选择。

可选的输出信号，易于集成，可选大气开关、显示屏和数字接口，合规和标准：CE、EN、UL、CSA、RoHS

应用
基本真空测量和控制，在蒸发和溅射镀膜应用中从大气压到高真空。
一般真空测量 - 工业炉、建筑玻璃、半导体、冰箱和空调。
分析和研发应用 – 质谱分析、电子显微镜、、、光学和高能物理。

应用
半导体：负载锁定,PVD, CVD，蚀刻
高能物理：光束线、加速器、激光疏散、系统
分析：质谱仪和电子显微镜
标准：基准真空，压力控制
工业：涂料系统、熔炉、灭菌、食品加工、氧化
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎*维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
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