电压380
用途抽真空
功率5.5
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极限压力8pa
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分子泵设计理念
莱宝真空针对不同应用提供基于不同轴
承和转子技术的涡轮分子泵。如
TURBOVAC系列机械轴承标准分子
泵;TURBOVAC MAG系列磁悬浮轴承
分子泵;TURBOVAC i/iX系列半磁浮分
子泵(半磁浮分子泵仅在排气端配置脂
润滑轴承,高真空端配置免维护的永磁
轴承)。莱宝真空的分子泵均不采用油
润滑轴承可以从理论上完全避免分子泵
对腔体产生碳氢化合物污染并且保证所
有分子泵均可以任意角度安装。
工作原理
TRIVAC® C泵是油封旋片泵,驱动电机与泵主体直接用法兰连接,泵与电机的轴由弹性联轴器直接连接,在联轴器上装有风扇,通过冷却缝隙使联轴器周围即使在较端的条件下仍保持较低的温度,所有轴承均为油润滑的滑动轴承。
泵主体由用O 形圈密封的部件组装而成,所有部件均用定位销联接以便于拆卸,泵体很易卸下且不需要工具。
转子(1/2)偏心地装在泵体(1/1)内,由三个径向滑动的旋片(1/6)将泵腔分隔成数个空间,每个空间的容积随着转子的旋转而周期性地变化。
气体从进气口(1/7)被吸入,通过滤网(1/6)和开启的防返油阀(1/ 5)进入泵腔,在泵腔中,气体被传送,当处被旋片封闭后气体被传送和压缩,在(1/15 )处,油被吸入泵腔中;一方面,它起到泵壁与旋片端面间的密封与润滑作用,另一方面还起到旋片(1/16 )在转子(1/2) 中的密封与润滑作用。

DRYVAC DV 450和DRYVAC DV 650是莱宝公司干式压缩螺杆真空泵品种中的一个新的系列,它根据具体应用可提供各种功能。DRYVAC系列在开发时考虑了光电行业、平板显示和加工工业市场的要求。所有DRYVAC泵型都采用水冷,非常紧凑的外形并且易于与系统组合,尤其是与业经考验的RUVAC WH(U)、WS(U)和WA(U)系列罗茨泵实现组合。 螺杆原理的优点 由于气体在螺杆泵内的气路短而简单,因此螺杆真空泵对所抽异物相当不敏感。这确保了在工业应用条件下更长的系统正常运行时间。从泵到其排气口之间直而短的气路缩短了气体停留时间,因此减少了泵内潜在沉积物。通过采用吹扫气(例如气镇),可有效除去沉积物、颗粒和冷凝液。与螺杆真空泵SP系列一样,DRYVAC的开发也是用于高要求的应用。此外DRYVAC的应用范围更是扩展到光电和平板显示的生产工艺。 适合应用特点的DRYVAC版本说明 DRYVAC DV 450 DV 650和DV S对100mbar至大气压段的抽速进行了优化。因此DV和DVS型适合快速抽空应用(如进样室),或大腔室抽空。DRYVAC DV C型在恶劣用途可以提供更高可靠性,其优化的性能适合光电和平板显示生产工艺常用的工艺气体。DRYVAC DV C型对氢气具有高抽速,并且由于集成了吹扫气系统,对于粉尘不敏感。 DRYVAC的主要特点:设计紧凑、易于布置成水平流的泵组。DV650比市场上同级别产品的功耗低30%。DRYVAC平台的所有版本可提供不同类型的配置:对于DRYVAC -r,泵的变频器外置,可集成于外部电气柜内;对于其他泵型,变频器集成在泵上。DRYVAC-i型配置了带有触屏显示器和软件用户界面的PLC,使得操作和配置更加简单。S-i型标配Profibus或24V I/O接口(可根据要求提供其他接口)与系统对接。另外,S-i型安置在有脚轮、高度可调地脚和Harting插座/插头的完整外壳内。DRYVAC DV 450和DV 650是单台螺杆泵,DV 1200则配备了两个并联运行的螺杆泵。DRYVAC DVR 5000 C-i是DRYVAC -i的版本。该工艺泵由DRYVAC DV650 C螺杆泵和RUVAC WH 2500罗茨泵组成,整体进行了集成控制。与螺杆泵一样,WH 2500也是由变频器操纵和控制(100Hz)。泵组对氮气的有效抽速约为3800立方米/小时。 DRYVAC系列设计特点 - 水冷;- 完全密封的螺杆和罗茨泵,只与外部形成静密封;- 机械和电气集成简单;- 通过监视运行温度、排气压力和电流消耗提供集成保护功能;- 占地面积小;- 能耗低,归功于优化的转子线形以;及符合IE2 效率等级要求的创新电机设计;- 适用电压和频率范围大:380 -480V,50/ 60Hz;- NRTL认证;- 符合RoHS。
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DRYVAC是采用了新技术的干式螺杆真空泵,它根据具体应用可提供各种功能。DRYVAC系列在开发时考虑了光电行业、平板显示和加工工业市场的要求。泵为水冷,结构紧凑并且易于与系统组合,特别是与业经考验的RUVAC WH(U)、WS(U)和WA(U)系列罗茨泵实现组合。
DRYVAC是莱宝公司干式压缩螺杆真空泵品种中的一个新的系列,它根据具体应用可提供各种功能。莱宝DRYVAC系列在开发时考虑了光电行业、平板显示和加工工业市场的要求。所有DRYVAC泵型都采用水冷,非常紧凑的外形并且易于与系统组合,尤其是与业经考验的莱宝RUVAC WH(U)、WS(U)和WA(U)系列罗茨泵实现组合。
莱宝DRYVAC螺杆原理的优点
由于气体在螺杆泵内的气路短而简单,因此螺杆真空泵对所抽异物相当不敏感。这确保了在工业应用条件下更长的系统正常运行时间。
从泵到其排气口之间直而短的气路缩短了气体停留时间,因此减少了泵内潜在沉积物。通过采用吹扫气(例如气镇),可有效除去沉积物、颗粒和冷凝液。
与莱宝螺杆真空泵SP系列一样,DRYVAC的开发也是用于高要求的应用。此外DRYVAC的应用范围更是扩展到光电和平板显示的生产工艺。
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在泵腔中,气体被压缩后通过排气阀(1/12)排入大气中,压缩气体中夹带的油收集在油雾过滤器(1/11)中;它不仅过滤油,而且还过滤机械杂质。送入被称为“气镇”的二次空气用以防止蒸汽凝聚在泵腔中,在压缩开始时,从(1/14)注入一定量的气镇气体,以确保泵抽除水蒸汽压力达到技术参数的要求。开启或关闭气镇阀由转动气镇阀帽(1/8)来实现,通常在泵运转于极限压强下会出现油撞击声,这种噪音可由在(1/10)注入很小量的二次空气来消音。
当泵停止时,泵轴上的离心开关开启放空管道,将大气空气送入防返油阀的活塞下,使防返油阀的阀盘压住进气口,将通向真空容器的管道封闭,将空气放入泵中。
泵上的油位观察窗便于检查油位,供应的标准泵型备有单相或三相交流电机两种。
莱宝TRIVAC C是双级油封式旋片真空泵,与众不同的特点是结构比较简单,使用方便,维护简便。广泛用于电真空,制冷,照明,冷冻干燥,仪器,轻工,化工,真空处理,科研等领域的真空应用。
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