精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
SKY® CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON SKY CDG160D 高温压力计是实现总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C，具有的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用**纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质，成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
275 Mini-Convectron
VGC501 系列真空计控制器可与各种 INFICON 真空计一起使用，能够监测 10⁻¹⁰ 至1500 mbar（10⁻¹⁰ 至 1125 Torr）的完整真空压力范围和设**状态并记录相关数据。
VD81 1600到1mbar 陶瓷薄膜传感器
应用实例
真装可以增加食物的保存时间3到5倍。包装过程是先抽真空然后再密封。
挑战
包装机器是否运转正常需要定期检测。只有当包装中的真空度足够时，食物的质量、新鲜度、营养成分、和口感才可以得到地保存。
解决方案
为了检查包装的性能，可以定期地将一个由电池驱动的VD81替代食物进行真空密封。在包装过程中，VD81存储其获得的小压力值，当它被拿出包装设备后，可以显示该小压力以便检测。
应用领域
真空设备的安装和检测
分析仪器
化工工程
作为机械和压力计的替代品
真空炉
微处理器信号处理允许在皮拉尼和磁控管输出以及线性输出之间无缝转换（记录压力刻度）
D 型接口包括电缆应变消除和增强的灰尘防护 - IP44
低磁场型 (SL) 适用于敏感性应用，例如质谱分析和电子显微镜
可轻松编程的设**涵盖整个测量范围
磁控管使用的**技术进行高度可靠的放电，即使在高真空或相对污染的环境下也无妨
自动为皮拉尼真空计元件进行真空设置
单一按钮大气设置
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎*维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
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