镀膜机检漏 适用于现场检测和维修 能够检测到微小的泄漏

结果

    当使用等温条件时, Rt-Q-Bond 色谱柱于甲烷至 丙烷的分析. (见图 1.) 重的组分将粘在柱上,需附加两至三分钟的运行时间将这些组分从柱上清除干净.

    程序升温运行扩展了 Rt-Q-Bond 色谱柱分析重组分 (如–C8 "+")的应用范围. 这些重组分在运行过程中 洗提, 减少交叉残留. (见图 2.)

    陡峭的峰形, 即程序升温的优势由比较两个实验中的保留时 间和丙烷峰的峰形来表明. 使用等温运行, 丙烷流出于161 秒, 与采用程序升温的 49.4 秒比较.丙烷流出较快, 峰形变得陡峭, 提供更为的积分. 表 2 列出不同运行方法中各组分的保留时间.

L320i Fab PHOENIX移动式氦检漏仪氦检质谱漏仪的原理氦检质谱漏仪可查找漏点位置并测定漏率（通过漏孔的气体）。因此，氦质谱检漏仪是一台氦计。检漏仪在工作过程中首先是对试验对象进行抽真空，来形成压差使外部气体穿过漏孔进入检漏仪。检漏仪利用内置氦质谱仪测量进入检漏仪气体氦分压并将测量结果转换为漏率显示。显示值单位一般采用单位。重要技术规范测量范围和响应时间是检漏仪的两个重要的参数。测量范围用小和可检漏率限定。

便携式检漏仪——ASM 310

高性能和便携性的组合泄漏检测新时代自从氦泄漏检测技术问世以来，由于检漏仪单位重量**过40Kg，体积**过70L，检漏装置一直不便于携带。但现在这一情况将彻底改变。

突破性进步

要设计一款兼顾优越的性能、占地面积小、尺寸紧凑、用户界面友好、维护间隔长、轻便和便携性的检漏仪是一项非常具有挑战性的工作。

ASM 310便是这一款产品。任何需要的地方提供高性能，并集成到仅具有一半重量、一半占地面积和一半尺寸的标准台式氦气泄漏探测器中。洁净，无油的泵系统让它成为了对无污染的系统进行泄漏测试的选择。它的高性能和便携性的优势在检漏仪应用中：

泄漏检测灵敏度高

用于半导体、真空镀膜和太阳能行业的系统易于在有限空间中使用和测量，例如和研发应用的加速器系统在发电厂和化工厂等工业环境中使用便捷一个可靠的旅行伙伴，理想的泄漏检测服务提供者

功能强大

ASM 310检漏仪设计紧凑，质量轻便，维护率非常低。**通用的电压和轻便的质量使得其能够方便的在**任何地方使用。同时有的运输包装及手推车可供选配。性能优越

前级泵容量         1.7 m3/h

氦气抽速            1.1 I/S

进气口压力         15 hPa

小可测漏率      5 · 10-13 Pa m3 /s

界面友好集成磁铁的控制面板，便于操作者放置于金属基座上。

普发真空ASM 310

检漏工艺要求准确地区分漏与不漏的试用对象，避免任何失误。这就需要由标准漏孔（能产生已知氦漏率的人工漏孔）作为检漏设备的基准。为了获得准确的漏率数据，必须使用标准漏孔对校准检漏仪进行校准。

售后服务：公司拥有的维修技术人员及的检测设备，并长期提供真空泵技术及修理、维护、保养、检测、咨询等服务；服务承诺：凡在本公司所购真空设备，均享有一年免费保修期，并提供技术支持。