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昆山熙日机械设备有限公司
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起订量：1 价格：1000 - 100000
BAG402 中到**高真空真空计
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402 涵盖从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）的广泛测量范围。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装，在低成本、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。特的双丝较结构提供更优异的精度、长期稳定性和长使用寿命。
特点
测量范围5 x 10-4至1000 mbar (3.8 x 10-4至750 Torr)
钨丝或铂丝的选项
性价比高
0至+40℃温度补偿
恒定灯丝温度
可选的输出信号，易于集成，可选大气开关、显示屏和数字接口，合规和标准：CE、EN、UL、CSA、RoHS
Edwards APGX-H线性对流真空计具有从 1333 到 3 x 10-4 mbar（1000 到 2.3 x 10-4 Torr）的很宽的测量范围。对流技术的使用可确保了粗真空段内的准确性和灵敏度。
真空计结构紧凑，可以在任意方位安装，因此适合空间有限的情况。该真空计集成了设**和两个 LED，LED 可指示设**和真空计的状态。
VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤，是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时，系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中，需要准确地控制旁路中的压力，以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中，腔体内的真空也需要被以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力，而且产品几乎不需要维护。作为选项，也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉