精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
Edge CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000 托 / 毫巴
带有 EtherCAT 的 INFICON 温度补偿型 Edge CDG025D2 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的较其准确的真空测量仪表。
成熟的温度补偿、防腐蚀、**纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有**的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获的特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节，另外还配有 EtherCAT 现场总线接口。
特点
方便的 ATM 和 HV 按键调整，节省空间的坚固结构，铝制外壳，任何方位安装，不锈钢的真空测量室
易于集成的对数讯号输出，10bar过压, 用螺纹连接，250°C 烘烤型选项，腐蚀性应用的镍丝，陶瓷馈入件用于较强腐蚀性的应用中(PSG510 和 PSG512)
可选设**
RoHS 认证
应用
前级真空测量（低真空测量），真空系统回路，电离真空计连锁应用，测真空的一般应用
Edwards新的Passive gauge真空规和控制器，补充目前Edwards Active真空计和控制器。这些真空计提供了一种广泛应用的压力测量解决方案，从**高真空系统到加工工业，或者在不可能使用Active真空计(如回旋加速器)的地方。
Edwards Passive系列真空规包括皮拉尼规，潘宁规和两个Bayard-Alpert离子计和Extractor离子测量计，可以测量大气至10-12 mbar**宽的压力范围。它们与被动式真空计计控制器(PGC)一起使用，显示压力，并为用户提供直观的界面，以及远程控制的能力。Edwards将提供2个控制器，PGC201支持测量从10-9至1000 mbar的压力范围，连接皮拉尼和潘宁真空规；以及范围更广的PGC202，测量10-12至1000mbar，连接皮拉尼和离子测量计。
微处理器信号处理允许在皮拉尼和磁控管输出以及线性输出之间无缝转换（记录压力刻度）
D 型接口包括电缆应变消除和增强的灰尘防护 - IP44
低磁场型 (SL) 适用于敏感性应用，例如质谱分析和电子显微镜
可轻松编程的设**涵盖整个测量范围
磁控管使用的技术进行高度可靠的放电，即使在高真空或相对污染的环境下也无妨
自动为皮拉尼真空计元件进行真空设置
单一按钮大气设置
应用
预抽真空，前级真空压力测量，真空设备，中度真空和低真空范围内的一般真空测量和控制
VSP 1000到1x10-4mbar 皮拉尼
应用实例
塑料元件经常被加以金属镀膜，这抑或出于美观考虑，抑或为了屏蔽敏感元件免受干扰。
挑战
金属镀膜是在一个PVD镀膜系统中进行。它首先由一个旋片泵通过旁路抽至10-2mbar。然后由涡轮分子泵进一步抽至10-5 mbar。镀膜工艺通常在2x10-4 mbar下进行，此时需要连续地真空状态，以确保镀膜工艺持续不断地高质量运行。为了避免涡轮分子泵**负荷，例如在不恰当的系统压力下切换到分子泵等，旁路中的压力以及涡轮分子泵的前级真空都需要被。
解决方案
用一个VSP 皮拉尼真空规控制旁路中的真空是否足以切换到涡轮分子泵。另一个VSP直接在涡轮分子泵处分子泵所需要的前级真空。一个VSM宽量空规测量系统内的极限真空度以及在镀膜过程中的压力。一台VD10多通路真空计用来做控制模块。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
前级真空控制
真空系统中的安全开关
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