赤峰探头 稳定性好 能进行连续测量

Edge™ CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar

INFICON Edge 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的较其准确的真空测量仪表。成熟的控温、防腐蚀、**纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有**的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获的特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节，另外还有 EtherCAT 现场总线接口可供选择。创新的加热概念能够使接触表面保持低温，并节约宝贵的工具空间。INFICON Edge 是同类产品中小的真空测量仪器。

特点

真空压力测量至10E-9Torr

双灯丝增加设备的正常运行时间

**洁净结构在抽气过程中实现快速响应

坚固耐用的金属结构，抗射频和噪音符合CE标准

可选本地显示器有助于设置和诊断

数字接口可用于计算机控制系统

特点

从 5 x 10E-10mbar至大气压（3.8 x 10E-10Torr至大气压）的很宽广的测量范围

10E-8至10-2 mbar压力范围内，±5%的重复性

BCG450 10Torr以上压力测量无关气体组分

皮拉尼联锁保护Bayard-Alpert系统在高压操作下丝较过早烧毁和过度污染

长使用寿命氧化钇铱丝

备有可选的图形显示器和现场总线接口

高真空/皮拉尼自动调节

符合 RoHS 标准

皮拉尼电容膜片复合真空计

INFICON 皮拉尼电容膜片式真空计 (PCG550系列) 将皮拉尼技术与电容膜片传感器的优点复合在单一产品中。在 10 mbar 和大气压力之间的测量范围内，电容隔膜技术不受气体类型限制，能够提供高度的可靠压力测量值。

VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极

应用实例

在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时，通常工艺过程中的压力需要**2x10-3mbar。

挑战

一个合适的真空规需要满足既能够镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。

我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规，冷阴极用来小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。

解决方案

在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程皮拉尼的之下，而冷阴极就可以被节省下来了，因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值，还可以用集成了LCD显示屏的VSM。

应用领域

分析仪器

镀膜设备

工艺工程

高真空到**高真空应用的控制

溅射工艺

真空炉