丹阳真空规

宽范围真空计
 INFICON 大量空计设计紧凑，具有的性和可靠性。四种物理技术包含了从**高真空度到大气压的完整真空范围。
通过 INFICON 皮拉尼技术，可在低和中真空范围实现经济实惠的测量。INFICON 微型电容膜片技术可在低真空范围实现测量，而**高和高真空范围则是热或冷电离技术的用武之地。
每种测量技术都可用于立传感器或与互补测量技术结合，以在整个真空范围内获得性价比。
应用
前级真空测量
真空系统
电离真空计连锁应用
一般真空应用

275 Mini-Convectron

特点
真空压力测量至10E-9Torr
双灯丝增加设备的正常运行时间
**洁净结构在抽气过程中实现快速响应
坚固耐用的金属结构，抗射频和噪音符合CE标准
可选本地显示器有助于设置和诊断
数字接口可用于计算机控制系统

Pfeiffer Active 系列真空计
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境，这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续真空状态，并使之持续维持在一个低位，以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体处的压力以及真空口处的压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体处和真空口处的压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接，以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来，以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行。另外，也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上，实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和**高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程
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