三亚真空计 应用广泛 抗干扰能力强

BAG402 中到**高真空真空计

INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402 涵盖从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）的广泛测量范围。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装，在低成本、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。特的双丝较结构提供更优异的精度、长期稳定性和长使用寿命。

特点

测量范围5 x 10-4至1000 mbar (3.8 x 10-4至750 Torr)

钨丝或铂丝的选项

性价比高

0至+40℃温度补偿

恒定灯丝温度

可选的输出信号，易于集成，可选大气开关、显示屏和数字接口，合规和标准：CE、EN、UL、CSA、RoHS

Edwards APGX-H线性对流真空计具有从 1333 到 3 x 10-4 mbar（1000 到 2.3 x 10-4 Torr）的很宽的测量范围。对流技术的使用可确保了粗真空段内的准确性和灵敏度。

真空计结构紧凑，可以在任意方位安装，因此适合空间有限的情况。该真空计集成了设**和两个 LED，LED 可指示设**和真空计的状态。

VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规

应用实例

晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤，是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。

挑战

当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时，系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中，需要准确地控制旁路中的压力，以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中，腔体内的真空也需要被以确保工艺要求。

解决方案

选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力，而且产品几乎不需要维护。作为选项，也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。

应用领域

设备安装工程

技术

真空泵运行控制

包装机械

工程机械

化工工艺

真空炉