湖北真空计 稳定性好 读数直观 简单

Edge CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000 托 / 毫巴

带有 EtherCAT 的 INFICON 温度补偿型 Edge CDG025D2 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的较其准确的真空测量仪表。

成熟的温度补偿、防腐蚀、**纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有**的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获的特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节，另外还配有 EtherCAT 现场总线接口。

技术规格

BAG050，EB-除气**高压裸电离真空规，能够测量：2×10E-11至10E-3Torr。

BAG051，电阻式脱气（I2R）裸电离真空规，能够测量：4×10E-10至10E-3Torr。

BAG052和BAG053，电阻式脱气(I2R)玻璃电离真空规，能够测量：4×10E-10至10E-3Torr。

Granville Phillips Micro-ion真空规是世界上非常小的电离真空规，其压力测量基干带电电子与真空规管中气体分子碰括所产生的离子电流的量。通过多种改进，在小体积内取得了高性能。这些改进包括获得的双离子收集较设计，可以优化电子运动和离子收集。双灯丝限度地减少了计划外停机。由于有*二根灯丝做规管可以工作到定期维护时再更换。**清洁结构(包括所有组件的真空烧制和在洁净度100级的洁净室环境中的组装)确保在真空室抽气的过程中快速、可重复的响应。

385 Convectron ATM

VSP 1000到1x10-4mbar 皮拉尼

应用实例

塑料元件经常被加以金属镀膜，这抑或出于美观考虑，抑或为了屏蔽敏感元件免受干扰。

挑战

金属镀膜是在一个PVD镀膜系统中进行。它首先由一个旋片泵通过旁路抽至10-2mbar。然后由涡轮分子泵进一步抽至10-5 mbar。镀膜工艺通常在2x10-4 mbar下进行，此时需要连续地真空状态，以确保镀膜工艺持续不断地高质量运行。为了避免涡轮分子泵**负荷，例如在不恰当的系统压力下切换到分子泵等，旁路中的压力以及涡轮分子泵的前级真空都需要被。

解决方案

用一个VSP 皮拉尼真空规控制旁路中的真空是否足以切换到涡轮分子泵。另一个VSP直接在涡轮分子泵处分子泵所需要的前级真空。一个VSM宽量空规测量系统内的极限真空度以及在镀膜过程中的压力。一台VD10多通路真空计用来做控制模块。

应用领域

分析仪器

真空炉

镀膜设备

前级真空控制

真空系统中的安全开关