海南真空规 应用广泛 量程宽 抗污染

Edge CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000 托 / 毫巴

带有 EtherCAT 的 INFICON 温度补偿型 Edge CDG025D2 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的较其准确的真空测量仪表。

成熟的温度补偿、防腐蚀、**纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有**的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获的特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节，另外还配有 EtherCAT 现场总线接口。

皮拉尼规管

PRG20K–NW16 AI

铝制传感器单元与钨丝

改进的温度补偿

PRG20K–DN16CF SS

钨丝和不锈钢传感器单元

耐过压

PRG20KCR–NW16 SS

铂丝与不锈钢传感器单元、陶瓷馈通件

非常适合于腐蚀性过程和水蒸气环境

500 Cold Cathode

特点

电子模块直接安装在压力计管件上，简化了系统设计，节省了宝贵的机架空间

范围广泛、符合标准的内部电源供给使用 +13.5 到 +36 V 的标准直流电，可承受电压波动

0 到 +10 V 直流电压的标准模拟输出和真空计标识符允许轻松连接计算机或 PLC，并提供故障输出指示

具有真空状态 LED 的可调整设**可以用于制程控制和联锁，它包括数字真空状态信号，可以直观查看设**读数

低输出阻抗和集成的法拉*屏蔽提供别的抗扰性，并允许电缆长度达到 100 m

中压和低压压力计管件的选择。ATC-D 涵盖 50 到 5 x 10-2 Torr，而 ATC-M 涵盖 1 到 10-3 Torr

VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规

应用实例

晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤，是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。

挑战

当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时，系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中，需要准确地控制旁路中的压力，以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中，腔体内的真空也需要被以确保工艺要求。

解决方案

选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力，而且产品几乎不需要维护。作为选项，也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。

应用领域

设备安装工程

技术

真空泵运行控制

包装机械

工程机械

化工工艺

真空炉