兰州真空计

PGE050 大气压至中真空真空计
INFICON 皮拉尼仪表增强型 050 (PGE050) 是主动对流增强型皮拉尼仪表 PGE300 和 PGE500 的被动版本。PEG050 采用相同的传感器技术，与 VGC031 和 VGC083 被动仪表控制器装置结合，可在 100 至 1000 mbar 的测量范围内获得相同的高准确度读数。由于测量范围更广且准确度更高（尤其是在低压条件下），因此 PGE050 是替代真空系统中的热电偶仪表时的。坚固的仪表和传感器设计使 PGE050 成为高/低拥有成本的选择，并且使该仪表适合众多需要低真空度真空度范围的经济型真空测量功能的应用。
INFICON CDG025D电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计设计用于在严酷的制造工具环境中具有稳定的性能. 的数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整. 抗腐蚀的**纯陶瓷传感器提供的零点稳定性, 以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命.特的传感器屏蔽保护真空计防止过程污染. 经久耐用的机械结构和数字电子学提高EMC兼容性, 长期稳定性和温度补偿能力。

Barocel 7025真空计

应用
高真空压力测量
蒸发与溅射镀膜系统
全真空范围内的一般真空测量和控制

特点
从 5 x 10E-10mbar至大气压（3.8 x 10E-10Torr至大气压）的很宽广的测量范围
10E-8至10-2 mbar压力范围内，±5%的重复性
BCG450 10Torr以上压力测量无关气体组分
皮拉尼联锁保护Bayard-Alpert系统在高压操作下丝较过早烧毁和过度污染
长使用寿命氧化钇铱丝
备有可选的图形显示器和现场总线接口
高真空/皮拉尼自动调节
符合 RoHS 标准
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时，通常工艺过程中的压力需要**2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规，冷阴极用来小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程皮拉尼的之下，而冷阴极就可以被节省下来了，因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值，还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到**高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉
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