比重0.86
用途管道泵
输送介质油泵
实际价格来电面议
性能自动
ULVAC干泵维修
LR系列:LR60、LR90、LR180、LR421、LR421-T、LR300、LR600、LR1200、LR1800、LR3601、LR3601-TT、LR3601-TTR
HR系列:HR60、HR90、HR300、HR600、HR1200
UR系列:UR90、UR421-T、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT
CR系列:CR16B、CR30B、CR60B、CR300B
GR系列:GR60A、GR90A、GR180A
PDR-C系列:PDR-012、PDR-060C、PDR-090CH、PDR-090CHN、PDR-090CLN、PDR-180CN、PDR-180C
VPT系列:VPT-030、VPT-6000
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体(CVD、刻蚀等)。
• 排出非活性气体(溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)。
• 用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)
• 作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
株式会社ULVAC以真空技术为基础,为先端技术应用及精细加工工艺为追求的研究开发型综合企业集团。
宁波爱发科真空技术有限公司成立于1995年,注册资本为2520万美元,是爱发科集团在中国投资的家企业。目前已成为爱发科在中国的真空泵及附属品生产基地,是集真空泵、真空测量及真空非标制品的生产、销售、售后服务一体的国家。作为追求真空极限(Ultimate in Vacuum)的真空技术**,在能源、电子、光学、未来显示技术、半导体器件、环保、医药、食品、生物工程、家电、自动化生产线等领域广阔应用,推进发展各种制造与应用设备。
秉承爱发科固有的工匠精神及日本的技术和本地的制造优势,为中国乃至世界的制造业及科技发展做出贡献。
ULVAC低温泵维修
CRYO-U系列:CRYO-U4H、CRYO-U6H、CRYO-U8H、CRYO-U8H-U、CRYO-U8HSP、CRYO-U10H、CRYO-U12H、CRYO-U12HSP、CRYO-U16、CRYO-U16P、CRYO-U20P、CRYO-U22H、CRYO-U30H
CRYO-TORR系列:CRYO-TORR8、CRYO-TORR10
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