海门真空计 385 Convectron ATM

Gemini™ MxG5xx 大气压至**高真空真空计
INFICON Gemini™ 倒置磁控管真空计是所有真空测量应用（申请中）的动力源泉。Gemini将两个传感器系统整合在一个小装置中，测量范围从大气压至 1x10 – 9 毫巴。获得的杂散磁场设计为全新的应用领域开启了大门。特的可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护，这使使Gemini成为同类产品中坚稳和经济的真空计。
Gemini冷阴极和组合真空计配备了完全集成的数字电子设备，使系统集成具有很强的灵活性。冷阴极和皮拉尼组合选项提供了跨越多个应用领域的无缝转换、可靠性、实用性和灵活性。
冷阴极技术
冷阴极技术传统上比热阴极提供更长的寿命，因为没有灯丝烧毁。GP 500系列冷阴极压力计(CCG)基于创新的技术和经过时间考验的校准技术，定义了一个新的精度标准。此外，从来没有一个好方法来确定什么时候冷阴极压力表磨损到精度明显下降的程度。通过一种新的正在申请的方法来确定随时间变化的压力量，并将其与用户选择的环境因素相结合， GP500提供了仪表何时需要维修或更换的指示信号。

Edwards WRH仪表采用两种测量方法(Bayard-Alpert和Pirani)在一个紧凑的模块内，满足你所有需要测量和控制的真空系统。模拟和RS485输出可通过D-SUB连接器，2个继电器和易于校准，使控制和测量非常简单。采用所包含的软件，您可以很容易地跟踪和记录真空系统的性能，并对仪表的数据进行调整，如设置设定值或更改输出比例。WRH是许多真空系统的选择，从研发机构到质谱领域，且广泛用于一般工业。

应用
研究设施
分析设备
研究和生产涂料设施
泄漏检测系统
半导体开发和生产

压力测量范围宽，从大气压至10E-4Torr
单校准规管保证的测量性能
结构紧凑、坚固耐用，抗和噪音符合CE认证
数字接口可用于与计算机控制系统通讯
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境，这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续真空状态，并使之持续维持在一个低位，以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体处的压力以及真空口处的压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体处和真空口处的压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接，以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来，以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行。另外，也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上，实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和**高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程
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