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用途管道泵
输送介质油泵
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性能自动
YM-RL系列罗茨泵机组
组成
YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气机组。
用途
冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。
优点
• 无油、干燥、清洁。
• 在低温领域的均热化。
• 大抽速，可以缩短排气时间。
• 优良的耐腐蚀性。
• 低噪音、低震动。
GLD系列油旋片式真空泵
特长
GLD系列是一种高性能、高质量、高可靠性的油旋片式真空泵。为了更好地提高散热效果，GLD系列产品在散热片部分进行了创新设计，从而实现了同类产品无可比拟的高真空。它还具有油位观察大，便于确认油污染状况、低震动、低噪音等优点。
用途
冰箱、空调、饮水机自动抽空线、照明理化学实验用、分析仪器用、激光应用机器、真空排气设备、电子显微镜的泵、半导体制造设备、溅射设备、真空镀膜设备、真空干燥器。
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体（CVD、刻蚀等）。
• 排出非活性气体（溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
• 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
• 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
ULVAC干泵维修
LR系列：LR60、LR90、LR180、LR421、LR421-T、LR300、LR600、LR1200、LR1800、LR3601、LR3601-TT、LR3601-TTR
HR系列：HR60、HR90、HR300、HR600、HR1200
UR系列：UR90、UR421-T、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT
CR系列：CR16B、CR30B、CR60B、CR300B
GR系列：GR60A、GR90A、GR180A
PDR-C系列：PDR-012、PDR-060C、PDR-090CH、PDR-090CHN、PDR-090CLN、PDR-180CN、PDR-180C
VPT系列：VPT-030、VPT-6000
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