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用途管道泵
输送介质油泵
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性能自动
YM-RL系列罗茨泵机组
组成
YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气机组。
用途
冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。
优点
• 无油、干燥、清洁。
• 在低温领域的均热化。
• 大抽速，可以缩短排气时间。
• 优良的耐腐蚀性。
• 低噪音、低震动。
VSN1501 / VSN2401 油旋片式真空泵
特长
能对应全压强领域的连续运转
采用高吸气压强也能稳定运转的强制运转的供油方式和缸体的水冷方式。选用油雾过滤器、油回收装置、及耐热型密封件后，真空泵就能在大气压以下的全压强范围内连续运转。
实现了低噪音
由于采用了极限压力时降低运转声音的结构，VSN1501、VSN2401的噪音能低于74dB（A）（到达极限压力时并带有油雾过滤器、在离泵1米处的测定值）。
实现了低震动
由于采用的旋片结构，能达到高速化（50Hz、1500r/min），大大降低了震动传导大的低频领域的震动。因此无须大规模的基础工程，也容易安置于工厂厂房的2楼、3楼。
的维修性能
为方便日常保养工作，油量确认、油补充、油更换的方向为同一操作方向。
为延长油的补充期，采用了8～10.5L的可变油量。
用途
• 镀膜、溅射、离子镀。
• 气体置换、充填、真空隔热。
• 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。
• 检漏装置、真空成形、真空铸造。
• 真装、真空吸附、搬送、其它。
PVD-N180(-1)/ PVD-N360(-1) 油旋片式真空泵
特长
稳定的排气特性
低噪音
装有气镇阀
通过打开气镇阀，可以将一定量的水蒸气从排气口排出，并能净化油箱内的真空泵油。
维修保养方便
结构简单，零部件数量少，复原性好，便于保养及检修，另外大油量型真空泵设有底部放油口和专门加油口，便于定期换油。
大油量型
采用大油箱后，能降低泵的油温，减少油的氧化和劣化，延长油的使用寿命。另外，对一般的真空装置来说，能降低吸入泵中的蒸气及粉尘所引起的油污染的程度，从而减少油更换的频率，降低使用成本。
用途
• 中央空调、照明、制冷。
• 冷媒灌注机、液晶注入机。
• 真空冷冻干燥、真装。
• 各种真空设备等相关行业。
ULVAC分子泵维修
UTM系列：UTM-50、UTM-150、UTM-300、UTM-500、UTB
UTM-FH系列：UTM-6300FH、UTM-3303FH、UTM-1001FH、UTM-800FH、UTM-480FH、UTM-350FH、UTM3302FH
UTM-FW系列：UTM-3301FW、UTM-2300FW、UTM-1400FW、UTM-1001FW、UTM-800FW、UTM-480FW、UTM-350FW
YTP系列：YTP- 50M/SA、YTP- 150M/SA、YTP- 300M/SA、YTP- 500M/SA
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