真空度**高真空度
性能耐腐蚀
输送介质气体
实际价格来电面议
驱动方式电动
上海伯东普发 ,Pfeiffer 真空泵在高精度表面加工中的应用
随着科技不断发展, 对工件加工的精度要求越来越高, 比如天文观测台运用的凹透镜, 在其生产过程中需要对透镜进行打磨和抛光, 达到 150 到 30 Nm 的精度. 实现这一精度**方法是使用离子束加工透镜及其他光学元件, 离子束加工具有可以控制, 污染少, 加工应力小, 热变形小, 加工表面质量高等优点. 这种技术可对外形进行准确的修正, 从而产生**高质量的表面.
离子束加工需要真空条件
离子束加工利用具有较高能量的离子束射到材料表面时所发生的撞击效应, 溅射效应和注入效应来进行不同的加工. 由于离子束轰击材料是逐层去除原子, 所以可以达到纳米级的加工精度.
离子束加工是在真空条件下先由电子产生电子束, 再引入已抽成真空且充满惰性气体的电离室中, 使低压惰性气体离子化. 由负极引出阳离子又经加速, 集束等步骤, 获得具有一定速度的离子投射到材料表面, 产生溅射效应和注入效应. 由于离子带正电荷, 其质量比电子大数千, 数万倍. 所以离子束比电子束具有更大的撞击动能, 通过微观的机械撞击能量进行加工. 昆山熙日普发, Pfeiffer 真空泵目前广泛应用于高精度表面加工应用中.
普发 ,Pfeifer 高精度表面加工客户案例: 某国际生产各种规模离子束加工设备厂商, 其生产的设备不仅应用于天文学, 还用于 EUV 光刻技术和传统的光学应用. 其代表设备用于加工天文大规格透镜, 真空腔室配置罗茨泵组和分子泵, 在非常短的时间内提供 10-6 hPa 真空, 加工过程不会在表面上留下任何痕迹或张力, 并且几乎可以加工任何几何形状或材料.
昆山熙日机械销售维修德国普发 pfeiffer全系列产品已有10余年,公司自 2014 年成立以来已累计为数千家客户提供销售维修服务,维修次数累计**过数万余次,
保证 100 % 德国普发 pfeiffer 原厂维修保养料件和受德国 pfeiffer 培训的,并用 pfeiffer 原装进口检测设备对维修后的产品做全方面的性能测试,保证维修质量,并在上海,闽台等地区设立维修保养中心.昆山熙日凭借其的技术背景及良好的服务质量是中国地区多家大型企业和国家研究机构长期合作供应商.
昆山熙日德国普发 pfeiffer 售后坐落在江苏省昆山市高新区
昆山熙日主要经营产品:德国普feiffer涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵:应用于各种条件下的真空计,氦质谱检漏仪,质谱分析仪,以及美国考夫曼公司 kri 离子源 离子 霍尔源,美国hva真空阀门,polycold冷冻机等
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干泵维修保养使用时的安全注意事项
› 当维修干泵上方的主开关设置为“0”时,电源接口和主开关之间依然是带电的。如果接触的话会有触电的危险。在服务之前确保将主电源线断开。
› 针对P 和H 型泵。如果没有氮气流量将会造成严重危害,因此氮气流量需要由工艺设备进行,没有氮气流量时需要有信号提供给工艺设备,如必要还需要互锁。
› 如果**LEL(爆炸极限低点)含量的易燃物质进入干泵,那么氮气吹扫的流量一定要进行控制确保降低该易燃物质的含量至LEL 以下,同时工艺设备需要在干泵氮气流量太低或无氮气时停止工艺气体进入真空泵。
› 如果没有冷却水或冷却水流量不够对真空泵将会造成严重危害,因此冷却水流量需要由工艺设备进行。
› 如果工艺中有任何腐蚀性的,易反应的,易燃的或氧化性强的介质进入真空泵,则需要在排气口安装装置,确保当排气口不排气时停止工艺气体进入真空泵。另外,也需要当氮气流量不够时停止工艺气体进入干泵。
› 如果有易燃物质进入干泵,用户需要在排气口提供可以检测LEL 的装置(能够检测到25%的LEL 的仪表),当检测到易燃气体含量达到25%的LEL 值时停止进入真空泵的气体。
上海蓝宏电子提示注意事项:
› 干泵停机时,内部元件(系统,变频器)包含充电大于60 VDC 的电容,依然带电。接触有可能造成严重的伤害。在停泵后,等待1 分钟再打开真空泵。
› 氮气吹扫和冷却水管路都是有正压的危险能源。在服务之前请释放压力:
› - 对于氮气吹扫,断开氮气管路快速接头并顺时针关闭减压阀;
› - 对于冷却水管路,断开进水接头并保持出水管路连接。等待1 分钟后,断开出水接头。
› Alcatel 并不能控制进入真空泵的气体种类。通常,工艺气体是有毒的,易燃的,有腐蚀性的,易爆的或易发生反应的。由于这些气体可能会造成受伤甚至与,因此将排气口连接到包含过滤装置或洗涤装置的尾气处理系统是非常重要的,以保证终的排放气体符合空气标准。
›
› 泵的电机通过真空泵的电气箱内配置了过载保护 - RT1 开关(ADP 泵)和RT2 开关(罗茨泵),该互锁必须在安装,使用和维护时保证运行。一旦过载保护激活,则电源会切断,真空泵处于安全状态。当真空泵出错时,必须先将错误纠正然后再清除错误。要清除错误,需要将主开关关闭,打开电气箱并将相关保护开关重置为“1”。
› 干泵配置了紧停(EMO)回路。当紧停激活时,真空泵进入安全停机状态。若要外部使用,真空泵J1 接口上的两个干接点针脚1 和4 可以提供使用。真空泵的EMO 也可以通过J1 接口上的针脚2 和3 进行外部。
› EMO 回路由机电元件构成。对其复位将不会激活真空泵。
维修干泵的加油
› 警告!真空泵发运时并没有加油,油和泵分开发运。同样,建议客户在退回真空泵之前也将油排放。
› 真空泵出厂测试时使用的是Alcatel 113 合成油。
› 矿物油与合成油不能混在一起使用,我们建议用户依然使用该润滑油。
油位应当在油位视窗的一半
PFEIFFER WKP2000A普发罗茨泵维修保养
罗茨泵工作原理
普发罗茨泵的工作原理相当于两个同步反向旋转的转子,在壳体中非接触旋转。泵体内结构八字形
状,且相互之间以及与转子之间由窄间隙分离开来。Pfeiffer罗茨泵WKP双齿齿轮的齿轮泵,该泵
从将气体从送到出口。一个轴由电机驱动,另一轴通过齿轮室中的一对齿轮同步进行。润滑仅
限于两个轴承和齿轮,它们通过具有压缩环的迷宫密封吸入打开。由于吸入室中无摩擦,罗茨真空
泵可在高转速(1500 – 3000 rpm ) 下操作。无往复运动质量还能提供无故障的动态平衡,罗茨真空
泵的运转较其安静,高转速。
普发双级旋片泵维修是德国PFEIFFER普发真空泵的双较旋片泵,真空泵度较高,设计非常精密。普发真空泵维修说难不难,说易不易。必须要有操作人员才可以拆装。昆山熙日机械设备有限公司
维修普发真空泵,DUO2.5, DUO5, DUO10, DUO20;Hena25, Hena60, Hena100, Hena200, Hena300, Hena400,
Penta10, Penta20, Penta35,UNO2.5, UNO6, UNO20, UNO60
普feiffer双级旋片泵维修经过长期工作后出现故障一般是这几点:
1、真空泵转子卡死:
2、真空泵电机烧坏:
3、真空泵真空度不足:
4、真空泵运行温度过高:
5、真空泵运行声音大
【普发双级旋片泵维修质保】
、初步了解真空泵现状
备注:如有需要,会在内派出技术人员赶赴现场确认真空泵故障)
第二、确定真空泵故障原因
备注:昆山熙日机械设备有限公司确认故障原因后,拟定出具体维修方案与周期、甲乙双方签定协议后,珠三角地区甲方安排人员上门提泵,其他区域客户可以选择物理快递)
第三、真空泵拆开报价
备注:为了让客户更清晰的知道维修费用,昆山熙日机械设备有限公司给出详细的维修清单及费用)
第四、确认真空泵维修
备注:客户同意维修费用后开始维修,维修后所换配件全部还客户)
第五、真空泵维修完毕后试机,一般测试时间是。
备注:确保维修过后达到的真空度和稳定性能,真空度达到出厂标准)
第六、配送真空泵上门安装调试
备注:在试机OK后内,客户可当初验收真空泵,看试机运转效果)
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