真空度**高真空度
性能耐腐蚀
输送介质气体
实际价格来电面议
驱动方式电动
上海伯东普发 ,Pfeiffer 真空泵在高精度表面加工中的应用
随着科技不断发展, 对工件加工的精度要求越来越高, 比如天文观测台运用的凹透镜, 在其生产过程中需要对透镜进行打磨和抛光, 达到 150 到 30 Nm 的精度. 实现这一精度**方法是使用离子束加工透镜及其他光学元件, 离子束加工具有可以控制, 污染少, 加工应力小, 热变形小, 加工表面质量高等优点. 这种技术可对外形进行准确的修正, 从而产生**高质量的表面.
离子束加工需要真空条件
离子束加工利用具有较高能量的离子束射到材料表面时所发生的撞击效应, 溅射效应和注入效应来进行不同的加工. 由于离子束轰击材料是逐层去除原子, 所以可以达到纳米级的加工精度.
离子束加工是在真空条件下先由电子产生电子束, 再引入已抽成真空且充满惰性气体的电离室中, 使低压惰性气体离子化. 由负极引出阳离子又经加速, 集束等步骤, 获得具有一定速度的离子投射到材料表面, 产生溅射效应和注入效应. 由于离子带正电荷, 其质量比电子大数千, 数万倍. 所以离子束比电子束具有更大的撞击动能, 通过微观的机械撞击能量进行加工. 昆山熙日普发, Pfeiffer 真空泵目前广泛应用于高精度表面加工应用中.
普发 ,Pfeifer 高精度表面加工客户案例: 某国际生产各种规模离子束加工设备厂商, 其生产的设备不仅应用于天文学, 还用于 EUV 光刻技术和传统的光学应用. 其代表设备用于加工天文大规格透镜, 真空腔室配置罗茨泵组和分子泵, 在非常短的时间内提供 10-6 hPa 真空, 加工过程不会在表面上留下任何痕迹或张力, 并且几乎可以加工任何几何形状或材料.
苏州昆山太仓无锡上海张家港吴江常熟镇江德国普发,Pfeiffer Vacuum BA 251、BA 501真空泵维修
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一、进口真空泵维修:
1、BOC EDWARDS(爱德华):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉):A系列、系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA(岩田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL(汉钟)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652
二、进口真空泵配件销售:
1、类型:真空泵维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、:BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、进口真空油销售:
:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。
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干泵维修保养使用时的安全注意事项
› 当维修干泵上方的主开关设置为“0”时,电源接口和主开关之间依然是带电的。如果接触的话会有触电的危险。在服务之前确保将主电源线断开。
› 针对P 和H 型泵。如果没有氮气流量将会造成严重危害,因此氮气流量需要由工艺设备进行,没有氮气流量时需要有信号提供给工艺设备,如必要还需要互锁。
› 如果**LEL(爆炸极限低点)含量的易燃物质进入干泵,那么氮气吹扫的流量一定要进行控制确保降低该易燃物质的含量至LEL 以下,同时工艺设备需要在干泵氮气流量太低或无氮气时停止工艺气体进入真空泵。
› 如果没有冷却水或冷却水流量不够对真空泵将会造成严重危害,因此冷却水流量需要由工艺设备进行。
› 如果工艺中有任何腐蚀性的,易反应的,易燃的或氧化性强的介质进入真空泵,则需要在排气口安装装置,确保当排气口不排气时停止工艺气体进入真空泵。另外,也需要当氮气流量不够时停止工艺气体进入干泵。
› 如果有易燃物质进入干泵,用户需要在排气口提供可以检测LEL 的装置(能够检测到25%的LEL 的仪表),当检测到易燃气体含量达到25%的LEL 值时停止进入真空泵的气体。
上海蓝宏电子提示注意事项:
› 干泵停机时,内部元件(系统,变频器)包含充电大于60 VDC 的电容,依然带电。接触有可能造成严重的伤害。在停泵后,等待1 分钟再打开真空泵。
› 氮气吹扫和冷却水管路都是有正压的危险能源。在服务之前请释放压力:
› - 对于氮气吹扫,断开氮气管路快速接头并顺时针关闭减压阀;
› - 对于冷却水管路,断开进水接头并保持出水管路连接。等待1 分钟后,断开出水接头。
› Alcatel 并不能控制进入真空泵的气体种类。通常,工艺气体是有毒的,易燃的,有腐蚀性的,易爆的或易发生反应的。由于这些气体可能会造成受伤甚至与,因此将排气口连接到包含过滤装置或洗涤装置的尾气处理系统是非常重要的,以保证终的排放气体符合空气标准。
›
› 泵的电机通过真空泵的电气箱内配置了过载保护 - RT1 开关(ADP 泵)和RT2 开关(罗茨泵),该互锁必须在安装,使用和维护时保证运行。一旦过载保护激活,则电源会切断,真空泵处于安全状态。当真空泵出错时,必须先将错误纠正然后再清除错误。要清除错误,需要将主开关关闭,打开电气箱并将相关保护开关重置为“1”。
› 干泵配置了紧停(EMO)回路。当紧停激活时,真空泵进入安全停机状态。若要外部使用,真空泵J1 接口上的两个干接点针脚1 和4 可以提供使用。真空泵的EMO 也可以通过J1 接口上的针脚2 和3 进行外部。
› EMO 回路由机电元件构成。对其复位将不会激活真空泵。
维修干泵的加油
› 警告!真空泵发运时并没有加油,油和泵分开发运。同样,建议客户在退回真空泵之前也将油排放。
› 真空泵出厂测试时使用的是Alcatel 113 合成油。
› 矿物油与合成油不能混在一起使用,我们建议用户依然使用该润滑油。
油位应当在油位视窗的一半
Pfeiffer普发真空泵代理,型号DUO20M,订货号PKD 63712E
Pfeiffer Vacuum 代表着创新的解决方案, 的技术, 可靠的产品以及**过*历史的出色服务。我们以出色的产品建立了真空技术发展的里程碑。我们全面的产品系列涵盖了单个配件到综合真空系统以及服务。
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旋片泵系列:
Hena25, Hena60, Hena100, Hena200, Hena300, Hena400,
Penta10, Penta20, Penta35,UNO2.5, UNO6, UNO20, UNO60
,DUO2.5, DUO5, DUO10, DUO20
Pfeiffer普发真空泵代理,型号DUO20M,订货号PKD 63712E
安捷伦Agilent真空泵,普发真空泵DUO3
德国普发 Pfeiffer 旋片真空泵 DUO 2.5 现已停产,全新升级替代款 DUO 3,双较旋片泵 DUO 3 除了保持 DUO 2.5 原有的坚固耐用、环保、运行成本低、集成高真空安全阀和气镇阀,可单使用也可作为前级泵集成在罗茨泵组和涡轮分子泵组.
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德国普发 Pfeiffer 旋片真空泵 DUO 2.5 现已停产,全新升级替代款 DUO 3,双较旋片泵 DUO 3 除了保持 DUO 2.5 原有的坚固耐用、环保、运行成本低、集成高真空安全阀和气镇阀,可单使用也可作为前级泵集成在罗茨泵组和涡轮分子泵组中外,还具有以下优点:
双级旋片真空泵 DUO 3 配置更高,在 50Hz和 60Hz工作模式下可分别达到 2.5m3/h和 2.9m3/h的抽速,转速分别可达 3000r/m和3600r/m
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