巢湖爱发科真空泵供应商 自定义信息标题 【0】

ULVAC涡旋泵维修
DIS/DISL系列：DIS-90、DIS-251、DIS-501、DISL-101、DISL-502

GLD系列油旋片式真空泵
特长
GLD系列是一种高性能、高质量、高可靠性的油旋片式真空泵。为了更好地提高散热效果，GLD系列产品在散热片部分进行了创新设计，从而实现了同类产品无可比拟的高真空。它还具有油位观察大，便于确认油污染状况、低震动、低噪音等优点。
用途
冰箱、空调、饮水机自动抽空线、照明理化学实验用、分析仪器用、激光应用机器、真空排气设备、电子显微镜的泵、半导体制造设备、溅射设备、真空镀膜设备、真空干燥器。

ULVAC低温泵维修
CRYO-U系列：CRYO-U4H、CRYO-U6H、CRYO-U8H、CRYO-U8H-U、CRYO-U8HSP、CRYO-U10H、CRYO-U12H、CRYO-U12HSP、CRYO-U16、CRYO-U16P、CRYO-U20P、CRYO-U22H、CRYO-U30H
CRYO-TORR系列：CRYO-TORR8、CRYO-TORR10

NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
•  活性气体（CVD、刻蚀等）。
•  排出非活性气体（溅射镀膜、   蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
•  用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
•  作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
•  冷冻干燥等水蒸气排气。
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