淮南真空计 靖江真空计

PSG55x 大气压至中真空真空计
INFICON Pirani 标准真空计 PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S 采用当今市场上的数字 Pirani 技术，不锈钢传感器单元坚固耐用，结构设计紧凑，适用于半导体系统和标准应用，例如前级真空管。
压力测量范围宽，从大气压至10E-4Torr
单校准规管保证的测量性能
结构紧凑、坚固耐用，抗和噪音符合CE认证
数字接口可用于与计算机控制系统通讯

Convectron ATM模块有模拟量、RS485或DeviceNet的输出形式可选。

385 Convectron ATM

特点
全量程的压力测量
包含允许完全控制/监视/修改的软件包
可烘烤至180°C
模拟和RS485输出在同时支持
LED状态灯指标
2个可调设定值
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎*维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
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