精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar
INFICON SKY CDG045D 压力计是实现高总压测量与控制的理想之选。CDG045D 真空计温度控制在 45 °C,具有的信号稳定性和可重复性。在 50 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用**纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质,成本效益,适用于苛刻的真空应用。
274 Bayard-Alpert
应用
半导体制造设于刻蚀, CVD, PVD, ALD
数据存储和OLED,LCD制造设备
工业真空设备
混气实验设备
一般高精度压力测量
特点
从 5 x 10E-10mbar至大气压(3.8 x 10E-10Torr至大气压)的很宽广的测量范围
10E-8至10-2 mbar压力范围内,±5%的重复性
BCG450 10Torr以上压力测量无关气体组分
皮拉尼联锁保护Bayard-Alpert系统在高压操作下丝较过早烧毁和过度污染
长使用寿命氧化钇铱丝
备有可选的图形显示器和现场总线接口
高真空/皮拉尼自动调节
符合 RoHS 标准
范围广泛、符合标准的内部电源可使用 +13.5 到 +36 V 的标准直流电,对电压波动有很好的承受力
0 到 +10 V 直流电压的标准模拟输出和真空计标识符允许轻松连接计算机或 PLC 和进行故障输出指示
nAIM支持串口信号输出:RS232/RS485
电极维修套件允许用户进行清洁和维护
特的放电器设计确保即使在高真空或污染环境下也可以快速放电
宽广的压力范围
VD85 1200到5 x 10-4 mbar 压阻/皮拉尼复合传感器
应用实例
真空泵的系统性维护和维修能够帮助避免生产过程中的故障,并提高系统整体的可用性
挑战
为了真空泵的诊断和维护工作,需要纪录其达到的压值和泵的抽速特征。这些数据提供了真空泵实际运行环境和工作性能的基本信息。
解决方案
一只带有宽量程复合传感器的VD85真空计能够捕捉很多类型真空泵的压力,例如隔膜泵、涡旋泵、旋片泵等。同时,它能按照需要测量或者应客户要求纪录真空泵从大气到极限真空的整个抽真空过程。在这种情况下,真空计被用作数据记录器,在它的内存中存储测量值。通过USB接口,数据可以被传送到一台电脑上用于进一步分析和归档。
应用领域
检漏
质量**
服务和维护
真空蒸发器
镀膜设备
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