旋片泵GLD051 GLD-N202
罗茨泵NB100B
过滤器TMN151
真空泵油R-4 R-7
真空计SW1-N1
PVD-N180(-1)/ PVD-N360(-1) 油旋片式真空泵
特长
稳定的排气特性
低噪音
装有气镇阀
通过打开气镇阀，可以将一定量的水蒸气从排气口排出，并能净化油箱内的真空泵油。
维修保养方便
结构简单，零部件数量少，复原性好，便于保养及检修，另外大油量型真空泵设有底部放油口和专门加油口，便于定期换油。
大油量型
采用大油箱后，能降低泵的油温，减少油的氧化和劣化，延长油的使用寿命。另外，对一般的真空装置来说，能降低吸入泵中的蒸气及粉尘所引起的油污染的程度，从而减少油更换的频率，降低使用成本。
用途
• 中央空调、照明、制冷。
• 冷媒灌注机、液晶注入机。
• 真空冷冻干燥、真空包装。
• 各种真空设备等相关行业。
株式会社ULVAC以*创真空技术为基础，为先端技术应用及精细加工工艺为追求的研究开发型综合企业集团。
宁波爱发科真空技术有限公司成立于1995年，注册资本为2520万美元，是爱发科集团在中国投资的家企业。目前已成为爱发科在中国的真空泵及附属品生产基地，是集真空泵、真空测量及真空非标制品的生产、销售、售后服务一体的国家**企业。作为追求真空极限（Ultimate in Vacuum）的真空技术**，在能源、电子、光学、未来显示技术、半导体器件、环保、医药、食品、生物工程、家电、自动化生产线等领域广阔应用，推进发展各种制造与应用设备。
秉承爱发科固有的工匠精神及日本先进的技术和本地的制造优势，为中国乃至世界的制造业及科技发展做出贡献。
ULVAC低温泵维修
CRYO-U系列：CRYO-U4H、CRYO-U6H、CRYO-U8H、CRYO-U8H-U、CRYO-U8HSP、CRYO-U10H、CRYO-U12H、CRYO-U12HSP、CRYO-U16、CRYO-U16P、CRYO-U20P、CRYO-U22H、CRYO-U30H
CRYO-TORR系列：CRYO-TORR8、CRYO-TORR10
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体（CVD、刻蚀等）。
• 排出非活性气体（溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
• 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
• 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
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