旋片泵GLD051 GLD-N202
罗茨泵NB100B
过滤器TMN151
真空泵油R-4 R-7
真空计SW1-N1
PVD-N180(-1)/ PVD-N360(-1) 油旋片式真空泵
特长
稳定的排气特性
低噪音
装有气镇阀
通过打开气镇阀，可以将一定量的水蒸气从排气口排出，并能净化油箱内的真空泵油。
维修保养方便
结构简单，零部件数量少，复原性好，便于保养及检修，另外大油量型真空泵设有底部放油口和专门加油口，便于定期换油。
大油量型
采用大油箱后，能降低泵的油温，减少油的氧化和劣化，延长油的使用寿命。另外，对一般的真空装置来说，能降低吸入泵中的蒸气及粉尘所引起的油污染的程度，从而减少油更换的频率，降低使用成本。
用途
• 中央空调、照明、制冷。
• 冷媒灌注机、液晶注入机。
• 真空冷冻干燥、真空包装。
• 各种真空设备等相关行业。
ULVAC分子泵维修
UTM系列：UTM-50、UTM-150、UTM-300、UTM-500、UTM300B
UTM-FH系列：UTM-6300FH、UTM-3303FH、UTM-1001FH、UTM-800FH、UTM-480FH、UTM-350FH、UTM3302FH
UTM-FW系列：UTM-3301FW、UTM-2300FW、UTM-1400FW、UTM-1001FW、UTM-800FW、UTM-480FW、UTM-350FW
YTP系列：YTP- 50M/SA、YTP- 150M/SA、YTP- 300M/SA、YTP- 500M/SA
NB100B-NB1200B罗茨式真空泵
特长
洁净的真空
腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运作
选用比标准电机容量大一级的电机，即可实现在高吸入压强下的运作。
用途
• 照明、电子、光学、半导体。
• 镀膜、溅射、离子镀、液晶注入。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。
• 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。
• 分析仪器、检漏设备、CO2激光设备。
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体（CVD、刻蚀等）。
• 排出非活性气体（溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
• 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
• 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
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