旋片泵GLD051 GLD-N202
罗茨泵NB100B
过滤器TMN151
真空泵油R-4 R-7
真空计SW1-N1
ULVAC罗茨泵维修
PMB系列:PMB100D、PMB300D、PMB600D、PMB1200D、PMB2400D
PRC系列:PRC-003A、PRC-006A、PRC-012A、PRC-018A
PMB-C系列:PMB-040C、PMB-060C
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NB100B-NB1200B罗茨式真空泵
特长
洁净的真空
腔体内没有润滑油,对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运作
选用比标准电机容量大一级的电机,即可实现在高吸入压强下的运作。
用途
• 照明、电子、光学、半导体。
• 镀膜、溅射、离子镀、液晶注入。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。
• 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。
• 分析仪器、检漏设备、CO2激光设备。
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VSN1501 / VSN2401 油旋片式真空泵
特长
能对应全压强领域的连续运转
采用高吸气压强也能稳定运转的强制运转的供油方式和缸体的水冷方式。选用油雾过滤器、油回收装置、及耐热型密封件后,真空泵就能在大气压以下的全压强范围内连续运转。
实现了低噪音
由于采用了极限压力时降低运转声音的结构,VSN1501、VSN2401的噪音能低于74dB(A)(到达极限压力时并带有油雾过滤器、在离泵1米处的测定值)。
实现了低震动
由于采用的旋片结构,能达到高速化(50Hz、1500r/min),大大降低了震动传导大的低频领域的震动。因此无须大规模的基础工程,也容易安置于工厂厂房的2楼、3楼。
优秀的维修性能
为方便日常保养工作,油量确认、油补充、油更换的方向为同一操作方向。
为延长油的补充期,采用了8~10.5L的可变油量。
用途
• 镀膜、溅射、离子镀。
• 气体置换、充填、真空隔热。
• 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。
• 检漏装置、真空成形、真空铸造。
• 真空包装、真空吸附、搬送、其它。
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ULVAC油旋片泵维修
VD系列:VD151、VD201、VD301、VD401、VD601、VD901、VD30C、VD40C、VD60C、VD90C
VDN系列:VDN-301、VDN-401、VDN 601、VDN602、VDN902
VS系列:VS650A-A、VS650A-W、VS750A-A、VS750A-W、VS1501、VS2401
VSN系列:VSN1501、VSN2401
PVD系列:PVD-180(B)、PVD-360(B)
PKS系列:PKS-016、PKS-030、PKS-070
EC系列:EC-403、EC603、EC-803
GHD系列:GHD 030、GHD-031、GHD-100、GHD-031B
GLD系列:GLD-N201、GLD-136C、GLD-N051、GLD-136A、GLD- N280、GLD040
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