AE电源维修 真空镀膜机 欢迎来电垂询

7、尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在效率点运转，才能获得的节能效果。
在变频器运行时要注意其冷却系统是否正常，如：风道排风是否流畅，风机是否有异常声音。一般防护等级比较高的变频器如：IP20以上的变频器可直接敞开安装，IP20以下的变频器一般应是柜式安装，所以变频柜散热效果如何将直接影响变频器的正常运行，变频器的排风系统如风扇旋转是否流畅，进风口是否有灰尘及阻塞物都是我们日常检查不可忽略的地方。电动机电抗器、变压器等是否过热，有异味;变频器及马达是否有异常响声;变频器面板电流显示是否偏大或电流变化幅度太大，输出UVW三相电压与电流是否平衡等。定期除尘检查风扇进风口是否堵死，每月清扫空气过滤器冷却风道及内部灰尘。定期检查，应一年进行一次：检查螺丝钉、螺栓以及即插件等是否松动。

AE电源系统: AE电镀电源、AE射频电源 RFG：RFG 80、RFG 1250、RFG 1250 HALO、RFG 1251、RFG 3000、RFG 3001、RFG 5500、RFG 2K-2VRFDS 1250、RFDS 1250-A、RFDS 3000、RFDS 2Kw-2KV
APEX：Apex 1513、Apex 2027、Apex 3013、Apex 4027、Apex 5513、Apex 7kW/13、Apex 10kW/13、Apex 3513、Apex 10013、Apex 8013
Atlas 2、Atlas 1513、Atlas 3013、Atlas 2504、Atlas 2027、Atlas 2012、Atlas 4012、Atlas 5002、Atlas 5012、Atlas 5013、Atlas 5027、Rapid F
RFX：RFX 600、RFX 600A、RFX 1250、RFX 2500、RFX 5500、RFG-AZX
RFX II：RFX II 1250、RFX II 3000、RFX II 5500
HFG：HFG 2500、HFG 5000、HFG 4M
HFV：HFV-3K、HFV-5K、HFV-8K、HFV-L 3KW
Ovation VHF:VHF-2760W、VHF-2060、VHF-2560、VHF-35162
ICP Generator:ICP-1KW、ICP-1.5KW、ICP-1.6KW、ICP-2KW
Dressler HPG:HPG 03300、HPG 13150、HPG 13300、HPG 27300
Dressler Cesar: Cesar 0210、Cesar 0220
美国COMDEL射频电源: 应用对象包括：刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统，也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源
CLX系列低频电源、CLF系列低频电源、CX系列高频电源、CX5K和CX10K高频射频功率源、CXH系列高功率/高频电源、CPS系列高频电源、CB系列高频射频电源、CV系列甚频（VHF）电源、CDX系列双频电源、XDC1000直流电源、MATCH自动调谐网络、ESC系列静电夹盘电源

2、当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。 真空蒸发镀膜机

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