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11、真空泵在工作个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。
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Ion Beam Drive ： ID-3500,ID-3501,IT-2500,IT-3500 DC（ 直流系列 ） ：
MDX Series: MDX 5,MDX 10,MDX 20,MDX 30,MDX-052,MDX 1K,MDX 1.5K,MDX 500,MDX Delta MDX II Series: MDX II 15kw（15-120KW）
Advanced Energy MDX MAGNETRON DRIVE SLAVE
ADVANCED ENERGY PINNACLE Series: Pinnacle 6KW,Pinnacle 12KW,Pinnacle 10KW,Pinnacle 20KW,Pinnacle 8KW,Pinnacle 15KW
ADVANCED ENERGY PINNACLE 3000 PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW,Pinnacle Plus+ Dual output 5KW,Pinnacle Plus+ 10KW
DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW,Pinnacle Diamond 10KW,Pinnacle Diamond 15KW
ADVANCED ENERGY MDX-L Series: MDX-L6,MDX-L 6kWHALO,MDX-L12,MDX-L 12M,MDX-L 12M 650,MDX-L18
ADVANCED ENERGY MDX-10K-MASTER 2225-037-A
ADVANCED ENERGY MDX13
ADVANCED ENERGY MDX-MASTER 2225-000
ADVANCED ENERGY MDX SLAVE 2221-005-N
ADVANCED ENERGY 3152225-048A
ADVANCED ENERGY 2221-005-P
ADVANCED ENERGY 2225-009-W
ADVANCED ENERGY 2221-012-A
ADVANCED ENERGY AE05722B 2300 RFG 5500 NOVELLUS CONTROL

普发(PFEIFFER)分子泵系列：TMH063、TMH064、TMH071，TMH260，TMH261，TMH300，TMH301，TPH170
莱宝分子泵系列：TW70，TW250S，Turbovac 360,Turbovac 361.
ALCATEL ADIXEN分子泵系列ATP150 、 ATP100 、 ATP80 、 ATP400 、 ATP900
Ion Beam Drive : ID-3500,ID-3501,IT-2500,IT-3500 DC(直流系列) :
MDX Series: MDX500，MDX 5KW,MDX 10KW, MDX13KW，MDX II 15KW, MDX II 30KW ,MDX 1K,MDX 1.5K ,MDX Delta MDX II Series: MDX II 15kw，MDX II 18P
PINNACLE Series: Pinnacle 6KW,Pinnacle 12KW,Pinnacle 10KW,Pinnacle 20KW,Pinnacle 8KW,Pinnacle 15KW
PINNACLE 3000 PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW,Pinnacle Plus+ Dual output 5KW,Pinnacle Plus+ 10KW
DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW,Pinnacle Diamond 10KW,Pinnacle Diamond 15KW
MDX-L Series: MDX-L6,MDX-L 6kW HALO,MDX-L12,MDX-L 12M,MDX-L 12M 650,MDX-L18
SPARC Series: Sparc-le 20,Sparc-le V,Sparc VSE'Wave DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR

并且大大简化了控制系统。液压控制系统的简化，对于日后的工作来说，具有非常重要的作用。应用变频调速替代比例调速，不仅仅在低速稳定的问题上具有较高的可信性，同时在响应的快速性，也展现出了非常高的水准。在过去，由于长期应用比例调速，因此相关器件的过载能力有限，在**过50%的时候，就只能运行一分钟，严重影响了加速性能。自从在液压系统中应用变频调速以后，形成了一个全新的调速系统，不仅充分利用变频调速液压控制系统调速范围大的特点，同时节能效果特别显着，在此基础上，又保留了阀控缸或者阀控马达响应快的优点。通过以上的表述，充分说明了采用变频调速不仅可以简化液压控制系统，另外在很多问题的处理上，也都应用非常简便的方式。

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