靶材电源维修 真空镀膜机 点击这里了解详情

拆坩埚之前，请先关掉水路用压缩空气把电子冷却管内的水分尽可能吹干净。
蒸发源装卸顺序：
在变频器运行时要注意其冷却系统是否正常，如：风道排风是否流畅，风机是否有异常声音。一般防护等级比较高的变频器如：IP20以上的变频器可直接敞开安装，IP20以下的变频器一般应是柜式安装，所以变频柜散热效果如何将直接影响变频器的正常运行，变频器的排风系统如风扇旋转是否流畅，进风口是否有灰尘及阻塞物都是我们日常检查不可忽略的地方。电动机电抗器、变压器等是否过热，有异味;变频器及马达是否有异常响声;变频器面板电流显示是否偏大或电流变化幅度太大，输出UVW三相电压与电流是否平衡等。定期除尘检查风扇进风口是否堵死，每月清扫空气过滤器冷却风道及内部灰尘。定期检查，应一年进行一次：检查螺丝钉、螺栓以及即插件等是否松动。

AE电源（ Advanced Energy） PINNACLE电源 DIAMOND电源 AE电源维修 AE电源 AE电源维修 维修AE电源 AE电镀电源 ae电源维修 ADVANCED ENERGY AE AdvancedEnergy DC POWER AE电源维修 Advanced Energy AE RF Generator System Component
维修AE（Advanced Energy） AE电源 DC直流系列维修德国 SINGULUS 溅镀电源、美国 MKS/ENI 溅镀电源、ADVANCED ENERGY 美国 AE 溅镀电源、RF 射 频电源、DC 直流电源、AC 交流电源。更专业的技术，更迅速的响应高速增长的等离子体薄膜制造工艺之*电源的维修。为各地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、真空溅镀、研究所等行业提供*级射频电源维修保养。广州能恒技，胡（）。为ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供维修维护服务。
Ion Beam Drive ： ID-3500,ID-3501,IT-2500,IT-3500 DC（ 直流系列 ） ：
MDX Series: MDX 5,MDX 10,MDX 20,MDX 30,MDX-052,MDX 1K,MDX 1.5K,MDX 500,MDX Delta MDX II Series: MDX II 15kw（15-120KW）
Advanced Energy MDX MAGNETRON DRIVE SLAVE
ADVANCED ENERGY PINNACLE Series: Pinnacle 6KW,Pinnacle 12KW,Pinnacle 10KW,Pinnacle 20KW,Pinnacle 8KW,Pinnacle 15KW
ADVANCED ENERGY PINNACLE 3000 PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW,Pinnacle Plus+ Dual output 5KW,Pinnacle Plus+ 10KW
DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW,Pinnacle Diamond 10KW,Pinnacle Diamond 15KW
ADVANCED ENERGY MDX-L Series: MDX-L6,MDX-L 6kWHALO,MDX-L12,MDX-L 12M,MDX-L 12M 650,MDX-L18
ADVANCED ENERGY MDX-10K-MASTER 2225-037-A
ADVANCED ENERGY MDX13
ADVANCED ENERGY MDX-MASTER 2225-000
ADVANCED ENERGY MDX SLAVE 2221-005-N
ADVANCED ENERGY 3152225-048A
ADVANCED ENERGY 2221-005-P
ADVANCED ENERGY 2225-009-W
ADVANCED ENERGY 2221-012-A
ADVANCED ENERGY AE05722B 2300 RFG 5500 NOVELLUS CONTROL

一、ae射频电源维修型号:
ae射频电源维修ae rfg5500射频电源维修ae apex3013射频电源维修，北京射频电源维修ae各系列射频电源维修，ae rfg射频电源维修，ae rfx2500射频电源维修，ae atlas5012射频电源维修，ae cesar1330射频电源维修，ae vhf2560射频电源维修等。
1、ae rfg系列射频电源维修：rfg 80、rfg 1250、rfg 1250 halo、rfg 1251、rfg 3000、rfg 3001、rfg 5500、rfg 2k-2vrfds 1250、rfds 1250-a、rfds 3000、rfds 2kw-2kv
2、ae apex系列射频电源维修：apex 1513、apex 2027、apex 3013、apex 4027、apex 5513、apex 7kw/13、apex 10kw/13、apex 3513、apex 10013、apex 8013
3、ae atlas 系列射频电源维修、atlas 1513、atlas 3013、atlas 2504、atlas 2027、atlas 2012、atlas 4012、atlas 5002、atlas 5012、atlas 5013、atlas 5027、
4、ae rapid frfx系列射频电源维修：rfx 600、rfx 600a、rfx 1250、rfx 2500、rfx 5500、rfg-azxrfx ii：rfx ii 1250、rfx ii 3000、rfx ii 5500hfg：hfg 2500、hfg 5000、hfg
5、ae mhfv系列射频电源维修：hfv-3k、hfv-5k、hfv-8k、hfv-l 3kwovation vhf:vhf-2760w、vhf-2060、vhf-2560、vhf-35162icp generator:icp-1kw、icp-1.5kw、icp-1.6kw、icp-2kwdressler
6、ae hpg系列射频电源维修:hpg 03300、hpg 13150、hpg 13300、hpg 27300dressler cesar: cesar 0210、cesar 0220
二、eni射频电源维修型号：
eni acg-6b-06射频电源维修，eni oem-12b射频电源维修，eni oem-2000射频电源维修，
三、daihen射频电源维修型号：
daihen drfs-10sb26射频电源维修，dgp-120a1射频电源维修，daihen aga-50c射频电源维修，daihen sgp-30a射频电源维修，daihen mfg-20sa射频电源维修，
四、adtec射频电源维修型号：
adtec ax-1000ii射频电源维修。
五、美国deos射频激光电源维修

AE电源系统: AE电镀电源、AE射频电源 RFG：RFG 80、RFG 1250、RFG 1250 HALO、RFG 1251、RFG 3000、RFG 3001、RFG 5500、RFG 2K-2VRFDS 1250、RFDS 1250-A、RFDS 3000、RFDS 2Kw-2KV
APEX：Apex 1513、Apex 2027、Apex 3013、Apex 4027、Apex 5513、Apex 7kW/13、Apex 10kW/13、Apex 3513、Apex 10013、Apex 8013
Atlas 2、Atlas 1513、Atlas 3013、Atlas 2504、Atlas 2027、Atlas 2012、Atlas 4012、Atlas 5002、Atlas 5012、Atlas 5013、Atlas 5027、Rapid F
RFX：RFX 600、RFX 600A、RFX 1250、RFX 2500、RFX 5500、RFG-AZX
RFX II：RFX II 1250、RFX II 3000、RFX II 5500
HFG：HFG 2500、HFG 5000、HFG 4M
HFV：HFV-3K、HFV-5K、HFV-8K、HFV-L 3KW
Ovation VHF:VHF-2760W、VHF-2060、VHF-2560、VHF-35162
ICP Generator:ICP-1KW、ICP-1.5KW、ICP-1.6KW、ICP-2KW
Dressler HPG:HPG 03300、HPG 13150、HPG 13300、HPG 27300
Dressler Cesar: Cesar 0210、Cesar 0220
美国COMDEL射频电源: 应用对象包括：刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统，也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源
CLX系列低频电源、CLF系列低频电源、CX系列高频电源、CX5K和CX10K高频射频功率源、CXH系列高功率/高频电源、CPS系列高频电源、CB系列高频射频电源、CV系列甚频（VHF）电源、CDX系列双频电源、XDC1000直流电源、MATCH自动调谐网络、ESC系列静电夹盘电源

http://kssunnyjx.cn.b2b168.com