庆阳爱发科真空泵 爱发科NB300B罗茨泵保养
更新时间:2025-03-08 浏览数:220
所属行业:
机械 泵 真空泵
发货地址:江苏省苏州昆山市
产品数量:9999.00台
价格:¥1000.00 元/台 起
旋片泵GLD051 GLD-N202
罗茨泵NB100B
过滤器TMN151
真空泵油R-4 R-7
真空计SW1-N1
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体(CVD、刻蚀等)。
• 排出非活性气体(溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)。
• 用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)
• 作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。

YM-RL系列罗茨泵机组
组成
YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成,用于生产、研究设备的真空排气机组。
用途
冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。
优点
• 无油、干燥、清洁。
• 在低温领域的均热化。
• 大抽速,可以缩短排气时间。
• 优良的耐腐蚀性。
• 低噪音、低震动。

提供全国范围内的ULVAC爱发科罗茨泵维修保养,以下为我公司维修过的型号:
NB系列罗茨泵:
NB100B
NB300B
NB600B
NB1200B
NB2400B
PRC-A/PMB-C(M) SERIES罗茨泵:
PMB1200D
PMB100D
PMB100DT
PMB300D
PMB300DT
PMB600D
PMB600DT
PMB1200D
PMB1200DT
MBS SERIES罗茨泵:
MBS-052

ULVAC涡旋泵维修
DIS/DISL系列:DIS-90、DIS-251、DIS-501、DISL-101、DISL-502
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