旋片泵GLD051 GLD-N202
罗茨泵NB100B
过滤器TMN151
真空泵油R-4 R-7
真空计SW1-N1
ULVAC油旋片泵维修
VD系列：VD151、VD201、VD301、VD401、VD601、VD901、VD30C、VD40C、VD60C、VD90C
VDN系列：VDN-301、VDN-401、VDN 601、VDN602、VDN902
VS系列：VS650A-A、VS650A-W、VS750A-A、VS750A-W、VS1501、VS2401
VSN系列：VSN1501、VSN2401
PVD系列：PVD-180(B)、PVD-360(B)
PKS系列：PKS-016、PKS-030、PKS-070
EC系列：EC-403、EC603、EC-803
GHD系列：GHD 030、GHD-031、GHD-100、GHD-031B
GLD系列：GLD-N201、GLD-136C、GLD-N051、GLD-136A、GLD- N280、GLD040
VDN301 / VDN401 油旋片式真空泵
特长
实现了低噪音
由于彻底的低噪音设计和精密的加工，从而达到了低噪音化。
优秀的保养、维修性能
因为能在真空泵与其他设备的连接管道不拆除的情况下，将泵的主体部分取下，所以清洗保养及油封等的更换变的非常容易。为使日常保养工作方便容易，油量确认、油补充、油更换的方向为同一操作方向。
为延长使用油的补充期，采用了1.0～2.5升可变油量方式。
能对应全压强领域的连续运转
采用高吸气压强也能稳定运转的强制供油方式。选用油雾过滤器、油回收装置及耐热密封件后，就能在大气压以下的全压强范围内连续运转。
用途
• 镀膜、溅射、离子镀。
• 气体置换、充填、真空隔热。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
• 分析仪器、检漏装置。
• 真空包装、真空吸附。
• 搬运、真空成形、真空铸造等。
Gatch系列皮拉尼真空计
显示器单元ISG1-N
本显示器为单通道显示器，与相应的规管连接后，可作为热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、隔膜真空计使用。与测量单元连接后，不但可显示测量压力，还可进行压力输出点的设定，能简单实现各种操作，且工作情况一目了然。通过显示器单元，可实现远程操作的控制及测量。另外，本显示器单元已通过CE，ROHS认证。
用途
• 可用于需要显示压力的真空设备。
• 可用于需要多个设**的真空设备。
• 可用于需要RS-485通信的真空设备。
特长
• 从大气压至5x10-8Pa均可显示。
• 3个设**信号输出。
• 输入电压：DC24V。
• 0~10V线性压力输出。
• 配备有标准的RS-485通信接口。
• 直观的LED显示。
• 各种单位可显示
• 已通过CE，RoHS认证。
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体（CVD、刻蚀等）。
• 排出非活性气体（溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
• 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
• 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
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