实验室旋片泵RV3 RV5 RV8 RV12
涡旋泵nxds6i nxds10i
工业油泵E2M18 E2M28 E2M40 E2M175 E2M275
工业干泵GV80 GV600
半导体干泵GXS250
概述
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是的泵,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。
应用
半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光
功能和优势
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要**过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到。
轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。
技术数据
EH250
EH500
EH1200
EH2600
EH4200
排量(工作容积)
310 m3h-1 / 185 ft3min-1
505 m3h-1 / 300 ft3min-1
1195 m3h-1 / 715 ft3min-1
2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1
4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1
使用前级泵时的有效抽速
240 m3h-1 / 141 ft3min-1
350 m3h-1 / 206 ft3min-1
840 m3h-1 / 495 ft3min-1
1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1
3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1
泵的压力差
0-180 mbar/0-140 Torr
0-110 mbar/0-83 Torr
0-90 mbar/0-68 Torr
0-80 mbar/0-60 Torr
0-60 mbar / 0-45 Torr
进气口连接
ISO63
ISO100
ISO160
ISO160
ISO250
出口连接
ISO40
ISO63
ISO100
ISO100
ISO100
转速
0-2900 rpm
0-2900 rpm
0-2900 rpm
0-2900 rpm
0-2900 rpm
连续进气口工作压力
0-1000 mbar/0-760 Torr
0-1000 mbar/0-760 Torr
0-1000 mbar/0-760 Torr
0-1000 mbar/0-760 Torr
0-1000 mbar/0-760 Torr
出口压力
1000 mbar/760 Torr
1000 mbar/760 Torr
1000 mbar/760 Torr
1000 mbar/760 Torr
1000 mbar/760 Torr
推荐的前级泵
GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80
GV80,E2M80
GV160、GV250、
E2M80、E2M175
GV250、GV400、
E2M175、E2M275
GV400、E2M275
电机功率
碳氢化合物
2.2 kW / 3 hp
2.2 kW/3 hp
3 kW/4 hp
11 kW/15 hp
11 kW/15 hp
PFPE
1.5 kW / 2 hp
1.5 kW/2 hp
3 kW/4 hp
7.5 kW/10 hp
11 kW/15 hp
ATEX
2.2 kW
2.2 kW
3 kW
11 kW
11 kW
防爆
3 hp
3 hp
4 hp
15 hp
15 hp
环境温度范围
工作
5 至 40°C/40 至 104°F
5 至 40°C/40 至 104°F
5 至 40°C/40 至 104°F
5 至 40°C/40 至 104°F
5 至 40°C/40 至 104°F
存储
-10 至 80°C/14 至 176°F
-10 至 80°C/14 至 176°F
-10 至 80°C/14 至 176°F
-10 至 80°C/14 至 176°F
-10 至 80°C/14 至 176°F
工作湿度
90% RH
90% RH
90% RH
90% RH
90% RH
推荐用油
Ultragrade 20
Ultragrade 20
Ultragrade 20
Ultragrade 20
Ultragrade 20
油容量
齿轮箱
1.25 l/1.3 qt
3.5 l/3.3 qt
3.5 l/3.3 qt
联轴器盖
1.5 l/1.6 qt
1.5 l/1.6 qt
1.5 l/1.6 qt
6.5 l/7 qt
6.5 l/7 qt
轴封储油器
0.125 l/0.25 qt
0.125 l/0.25 qt
0.125 l/0.25 qt
1.5 l/1.4 qt
1.5 l/1.4 qt
重量
61 kg/134 lb
74 kg/163 lb
74 kg/163 lb
308 kg/679 lb
400 kg / 882 lb
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爱德华真空泵主要型号:
BOC EDWARDS爱德华EM 系列 E1M5, E1M8, E1M12, E1M18, E1M30, E1M40, E1M80, E1M175, E1M275, E2M0.7, E2M1, E2M1.5, E2M2, E2M5, E2M8, E2M12, E2M18 , E2M28, E2M30, E2M40, E2M80, E2M175, E2M275
BOC EDWARDS爱德华RV 系列RV3, RV5, RV8, RV12
BOC EDWARDS爱德华EH 系列 EH250, EH500, EH1200, EH2600, EH4200
BOC EDWARDS爱德华QMB 系列 QMB-250, QMB500, QMB1200
BOC EDWARDS爱德华XDS5,XDS10,XDS35
BOC EDWARDS爱德华PUMP GV80,GV160,GV250,GV400
供应爱德华E2M175,E2M275,E2M28,E2M18,E2M30,E2M40,RV12,RV8进口真空泵配件,过滤器,叶片,大修包,小修包
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爱德华真空泵维修包作用和使用方法
◇、作用:爱德华真空泵维修包又叫爱德华密封套件,真空泵油封在行业名称叫密封件,油封也叫(轴封),主要作用是维修真空泵使用。它在真空泵里起到一个密封效果,维修包的好坏直接影响到爱德华真空泵的使用性能,经常引起的一个问题就是真空度不够,抽气量不足。建议客户在选购爱德华真空泵维修包时必须慎重。
◇、那爱德华真空泵维修包使用需要注意什么事项呢?
(1)轴的转速由于设计和结构上的原因,高转数的轴应使用高速油封,低转速的轴使用低速油封,不能将低速油封用于高速轴上,反之也不行。
(2)环境温度在使用温度较高的情况下,应选用聚丙烯酯或硅、氟、硅氟橡胶。并应设法降低油箱中的油温。在使用温度过低的情况下,应选用耐寒橡胶。
(3)压力一般的油封承受压力能力差,压力过大时油封会变形。在压力过大的使用条件下应采用耐压支承圈或加强的耐压油封。
(4)安装上的偏心程度油封和轴配合时偏心过大,则其密封性会变差,特别是在轴转速高时尤为严重。如果偏心过大时,可采用“W"形断面的油封。
(5)轴的表面光洁度,直接影响油封的使用寿命,即轴的光洁度高,油封使用寿命就会长。 (6)注意在油封的唇口应有一定量的润滑油,要特别注意防止尘土浸入油封。
爱德华真空泵维修包主要型号:
Edwards爱德华EM 系列:(大型油封式真空泵)
E2M18, E2M28, E2M30, E2M40, E2M80, E2M175, E2M275
Edwards爱德华RV 系列: (小型油封式真空泵):RV3, RV5, RV8, RV12
Edwards爱德华EH 系列: (罗茨真空泵)
EH250,EH500,EH1200, EH2600,EH4200
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