昭和真空镀膜机检漏 真空镀膜机 需要的进来看看

扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出。先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。
AE电源系统: AE电镀电源、AE射频电源 RFG：RFG 80、RFG 1250、RFG 1250 HALO、RFG 1251、RFG 3000、RFG 3001、RFG 5500、RFG 2K-2VRFDS 1250、RFDS 1250-A、RFDS 3000、RFDS 2Kw-2KV
APEX：Apex 1513、Apex 2027、Apex 3013、Apex 4027、Apex 5513、Apex 7kW/13、Apex 10kW/13、Apex 3513、Apex 10013、Apex 8013
Atlas 2、Atlas 1513、Atlas 3013、Atlas 2504、Atlas 2027、Atlas 2012、Atlas 4012、Atlas 5002、Atlas 5012、Atlas 5013、Atlas 5027、Rapid F
RFX：RFX 600、RFX 600A、RFX 1250、RFX 2500、RFX 5500、RFG-AZX
RFX II：RFX II 1250、RFX II 3000、RFX II 5500
HFG：HFG 2500、HFG 5000、HFG 4M
HFV：HFV-3K、HFV-5K、HFV-8K、HFV-L 3KW
Ovation VHF:VHF-2760W、VHF-2060、VHF-2560、VHF-35162
ICP Generator:ICP-1KW、ICP-1.5KW、ICP-1.6KW、ICP-2KW
Dressler HPG:HPG 03300、HPG 13150、HPG 13300、HPG 27300
Dressler Cesar: Cesar 0210、Cesar 0220
美国COMDEL射频电源: 应用对象包括：刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统，也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源
CLX系列低频电源、CLF系列低频电源、CX系列高频电源、CX5K和CX10K高频射频功率源、CXH系列高功率/高频电源、CPS系列高频电源、CB系列高频射频电源、CV系列甚频（VHF）电源、CDX系列双频电源、XDC1000直流电源、MATCH自动调谐网络、ESC系列静电夹盘电源

现在很多厂家对于进口真空镀膜设备维护保养都不是很清楚，在需要进行保养维护的时候，结果却无从下手，让很多有进口真空镀膜设备厂家非常。这里东莞爱加进口真空镀膜机维修*与你分享如何对真空镀膜设备进行维修保三大技巧。

输入输出电抗器的对地及相间电阻是否有短路现象，正常应大于几十兆欧。导体及绝缘体是否有腐蚀现象，如有要及时用酒精擦拭干净。测量开关电源输出各电路电压的平稳性，如：5V、12V、15V、24V等电压。接触器的触点是否有打火痕迹，严重的要更换同型号或大于原容量的新品接触器;确认控制电压的正确性，进行顺序保护动作试验;确认保护显示回路无异常;确认变频器在单独运行时输出电压的平衡度。认真做好变频器的日常维护保养及其检修工作，定期对变频器进行除尘，重点是整流柜、逆变柜和控制柜。必要时可将整流模块、逆变模块和控制柜内的线路板拆出后进行除尘。变频器下进风口、上出风口是否积尘或因积尘过多而堵塞。变频器因本身散热要求通风量大。

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