西宁探头 泰兴真空计 356 Micro-Ion Plus

Edge™ CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar
INFICON Edge 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的较其准确的真空测量仪表。成熟的控温、防腐蚀、**纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有**的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获**的*特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。先进的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节，另外还有 EtherCAT 现场总线接口可供选择。创新的加热概念能够使接触表面保持低温，并节约宝贵的工具空间。INFICON Edge 是同类产品中小的真空测量仪器。
INFICON MPG500倒置磁控管真空计是所有真空测量应用明智的选择。MPG500将两个传感器系统整合在一个小装置中，测量范围从大气压至 1x10E–9毫巴。获得**的**低杂散磁场设计为全新的应用领域开启了大门。*特的可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护，这使MPG500成为同类产品中很坚固和非常经济的真空计。MPG500冷阴极和组合真空计配备了完全集成的数字电子设备，使系统集成具有很强的灵活性。冷阴极和皮拉尼组合选项提供了跨越多个应用领域的无缝转换、可靠性、实用性和灵活性。

Edwards WRH热阴极宽量程测量仪提供了从大气压到10E-10mbar的测量能力，具有很高的准确性和重复性。

Convectron ATM模块有模拟量、RS485或DeviceNet的输出形式可选。

应用
半导体：负载锁定,PVD, CVD，蚀刻
高能物理：光束线、加速器、激光疏散、系统
分析：质谱仪和电子显微镜
标准：基准真空，压力控制
工业：涂料系统、熔炉、灭菌、食品加工、氧化
VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤，是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时，系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中，需要准确地控制旁路中的压力，以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中，腔体内的真空也需要被精确监控以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力，而且产品几乎不需要维护。作为选项，也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉
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