实验室旋片泵RV3 RV5 RV8 RV12
涡旋泵nxds6i nxds10i
工业油泵E2M18 E2M28 E2M40 E2M175 E2M275
工业干泵GV80 GV600
半导体干泵GXS250
概述
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是的泵,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。
应用
半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光
功能和优势
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要**过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到。
轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。
技术数据
EH250
EH500
EH1200
EH2600
EH4200
排量(工作容积)
310 m3h-1 / 185 ft3min-1
505 m3h-1 / 300 ft3min-1
1195 m3h-1 / 715 ft3min-1
2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1
4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1
使用前级泵时的有效抽速
240 m3h-1 / 141 ft3min-1
350 m3h-1 / 206 ft3min-1
840 m3h-1 / 495 ft3min-1
1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1
3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1
泵的压力差
0-180 mbar/0-140 Torr
0-110 mbar/0-83 Torr
0-90 mbar/0-68 Torr
0-80 mbar/0-60 Torr
0-60 mbar / 0-45 Torr
进气口连接
ISO63
ISO100
ISO160
ISO160
ISO250
出口连接
ISO40
ISO63
ISO100
ISO100
ISO100
转速
0-2900 rpm
0-2900 rpm
0-2900 rpm
0-2900 rpm
0-2900 rpm
连续进气口工作压力
0-1000 mbar/0-760 Torr
0-1000 mbar/0-760 Torr
0-1000 mbar/0-760 Torr
0-1000 mbar/0-760 Torr
0-1000 mbar/0-760 Torr
出口压力
1000 mbar/760 Torr
1000 mbar/760 Torr
1000 mbar/760 Torr
1000 mbar/760 Torr
1000 mbar/760 Torr
推荐的前级泵
GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80
GV80,E2M80
GV160、GV250、
E2M80、E2M175
GV250、GV400、
E2M175、E2M275
GV400、E2M275
电机功率
碳氢化合物
2.2 kW / 3 hp
2.2 kW/3 hp
3 kW/4 hp
11 kW/15 hp
11 kW/15 hp
PFPE
1.5 kW / 2 hp
1.5 kW/2 hp
3 kW/4 hp
7.5 kW/10 hp
11 kW/15 hp
ATEX
2.2 kW
2.2 kW
3 kW
11 kW
11 kW
防爆
3 hp
3 hp
4 hp
15 hp
15 hp
环境温度范围
工作
5 至 40°C/40 至 104°F
5 至 40°C/40 至 104°F
5 至 40°C/40 至 104°F
5 至 40°C/40 至 104°F
5 至 40°C/40 至 104°F
存储
-10 至 80°C/14 至 176°F
-10 至 80°C/14 至 176°F
-10 至 80°C/14 至 176°F
-10 至 80°C/14 至 176°F
-10 至 80°C/14 至 176°F
工作湿度
90% RH
90% RH
90% RH
90% RH
90% RH
推荐用油
Ultragrade 20
Ultragrade 20
Ultragrade 20
Ultragrade 20
Ultragrade 20
油容量
齿轮箱
1.25 l/1.3 qt
3.5 l/3.3 qt
3.5 l/3.3 qt
联轴器盖
1.5 l/1.6 qt
1.5 l/1.6 qt
1.5 l/1.6 qt
6.5 l/7 qt
6.5 l/7 qt
轴封储油器
0.125 l/0.25 qt
0.125 l/0.25 qt
0.125 l/0.25 qt
1.5 l/1.4 qt
1.5 l/1.4 qt
重量
61 kg/134 lb
74 kg/163 lb
74 kg/163 lb
308 kg/679 lb
400 kg / 882 lb
爱德华真空泵维修包作用和使用方法
◇、作用:爱德华真空泵维修包又叫爱德华密封套件,真空泵油封在行业名称叫密封件,油封也叫(轴封),主要作用是维修真空泵使用。它在真空泵里起到一个密封效果,维修包的好坏直接影响到爱德华真空泵的使用性能,经常引起的一个问题就是真空度不够,抽气量不足。建议客户在选购爱德华真空泵维修包时必须慎重。
◇、那爱德华真空泵维修包使用需要注意什么事项呢?
(1)轴的转速由于设计和结构上的原因,高转数的轴应使用高速油封,低转速的轴使用低速油封,不能将低速油封用于高速轴上,反之也不行。
(2)环境温度在使用温度较高的情况下,应选用聚丙烯酯或硅、氟、硅氟橡胶。并应设法降低油箱中的油温。在使用温度过低的情况下,应选用耐寒橡胶。
(3)压力一般的油封承受压力能力差,压力过大时油封会变形。在压力过大的使用条件下应采用耐压支承圈或加强的耐压油封。
(4)安装上的偏心程度油封和轴配合时偏心过大,则其密封性会变差,特别是在轴转速高时尤为严重。如果偏心过大时,可采用“W"形断面的油封。
(5)轴的表面光洁度,直接影响油封的使用寿命,即轴的光洁度高,油封使用寿命就会长。 (6)注意在油封的唇口应有一定量的润滑油,要特别注意防止尘土浸入油封。
爱德华真空泵维修包主要型号:
Edwards爱德华EM 系列:(大型油封式真空泵)
E2M18, E2M28, E2M30, E2M40, E2M80, E2M175, E2M275
Edwards爱德华RV 系列: (小型油封式真空泵):RV3, RV5, RV8, RV12
Edwards爱德华EH 系列: (罗茨真空泵)
EH250,EH500,EH1200, EH2600,EH4200
爱德华真空泵抽真空原理
1.当用它抽除含化学工业溶剂蒸汽加热或气体液体化合物时,可在泵出气口设定气体制冷冷却器,被缩小和加热的加工工艺气体根据排气管安全通道进到气体制冷冷凝器内,表中的**化学溶剂或透明液体被冷凝剂回收,冷却后的汽体绝大多数被排放掉,少许所须要的处在排气管工作压力下的制冷气体被泵再次回抽入泵腔压缩级.
2.设在泵腔排气管级侧的冷却气体入口在压缩腔的体积缩减流程开始前被开启,制冷气体持续注入压缩腔内与此前吸进的生产工艺气体混和直到**过排气工作压力.只有此操作过程成功后,电机转子才将出气口开启,将混合气体排到气体冷却冷凝器中,做好下一次循环.
3.为避免因为泵腔内进到冷却气体而增多泵抽除的工艺气体总量,将泵与气体冷却冷凝器产生闭循环系统的冷却回路,泵从过程中将所需求量的制冷气体从制冷冷凝器的尾端回抽入压缩腔.
4.气体的压缩作用关键不是由减少泵腔的体积往往由通入制冷气体来完成任务的,那样可确保在某些工艺过程中形成的液气混合物或蒸汽在泵的工作条件下被抽除.
爱德华真空泵油功能
1、润滑减磨,通过零件的摩擦,在两个摩擦表面间形成油膜,油膜会将两个摩擦的零件表面隔开,达到减少磨损的目的
2、通过循环流动,能够将真空泵零件上的附生成物、油泥、金属磨损颗粒等脏东西带回油底壳,达到清洗清洁的效果
3、密封防漏,还可以在有相对运动的零件间形成油膜,提高它们的密封性,有利于防止漏气或漏油
4、防锈防蚀,通过零件的运动,会在零件表面形成油膜,这层油膜可以吸附在零件表面上,防止水、空气等与零件表面接触而使零件腐蚀生锈
5、能将压缩室中的部分热量带回油箱,再散发至空气中,起到帮助冷却液冷却真空泵的作用
6、当真空泵启动时,压缩室压力急剧上升,突然加剧叶片、轴承、轴封、排气阀片的负荷,这个负荷经过轴承的传递润滑,吸收冲击并减小振动,起到减震缓冲的作用
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