精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
SKY® CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON SKY CDG160D 高温压力计是实现总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C，具有的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用**纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质，成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
Edwards新的Passive gauge真空规和控制器，补充目前Edwards Active真空计和控制器。这些真空计提供了一种广泛应用的压力测量解决方案，从**高真空系统到加工工业，或者在不可能使用Active真空计(如回旋加速器)的地方。
Edwards Passive系列真空规包括皮拉尼规，潘宁规和两个Bayard-Alpert离子计和Extractor离子测量计，可以测量大气至10-12 mbar**宽的压力范围。它们与被动式真空计计控制器(PGC)一起使用，显示压力，并为用户提供直观的界面，以及远程控制的能力。Edwards将提供2个控制器，PGC201支持测量从10-9至1000 mbar的压力范围，连接皮拉尼和潘宁真空规；以及范围更广的PGC202，测量10-12至1000mbar，连接皮拉尼和离子测量计。
应用
半导体：负载锁定,PVD, CVD，蚀刻
高能物理：光束线、加速器、激光疏散、系统
分析：质谱仪和电子显微镜
标准：基准真空，压力控制
工业：涂料系统、熔炉、灭菌、食品加工、氧化
Edwards APG100-XM 是标准型号，可测量到10-3 mbar。APG100-XLC 是抗腐蚀型号，可测量到 10-4 mbar。nAPG是数字型真空计，支持RS232和RS485信号输出。
VD85 1200到5 x 10-4 mbar 压阻/皮拉尼复合传感器
应用实例
真空泵的系统性维护和维修能够帮助避免生产过程中的故障，并提高系统整体的可用性
挑战
为了真空泵的诊断和维护工作，需要纪录其达到的压值和泵的抽速特征。这些数据提供了真空泵实际运行环境和工作性能的基本信息。
解决方案
一只带有宽量程复合传感器的VD85真空计能够捕捉很多类型真空泵的压力，例如隔膜泵、涡旋泵、旋片泵等。同时，它能按照需要测量或者应客户要求纪录真空泵从大气到极限真空的整个抽真空过程。在这种情况下，真空计被用作数据记录器，在它的内存中存储测量值。通过USB接口，数据可以被传送到一台电脑上用于进一步分析和归档。
应用领域
检漏
质量**
服务和维护
真空蒸发器
镀膜设
VCC200 200到1 x 10-1 mbar 电容规
应用实例
在炼制高质量钢材的过程中，通常用真空氧脱碳精炼法来降低铸造物中的含碳量。熔化的钢水上的压力会降到100-150mbar，与此同时氧气会通过装置注入。这使得溶解碳转变为一氧化碳。而这些一氧化碳溢出到熔解池的真空环境中。其它熔解过程中的气体，如氢，被真空脱气排出。真空脱气时的压力通常为1mbar。
挑战
为达到脱气过程，铸造时需要地控制真空度。由于存在大量灰尘和有问题的物质，需要一个特别坚固耐用的真空规来降低维修护本。
解决方案
可以使用VCC200真空规。它能在200-0.1mbar范围内高精度地测量压力。这种电容氧化铝陶瓷感应器非常坚固耐用，而且不会受污染环境的影响。它的测量结果不受气体种类影响。所以生产过程中排放的气体不会影响其压力读数，从而保证了结果的准确性。
应用领域
设备工程
分析仪器
化工工艺
真空绝缘
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