精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1000 Torr / mbar 过程测量仪
INFICON SKY CDG025D 电容式隔膜真空计系列的高精度、温度补偿型压力计，可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。数字电子元件可提高仪表性能, 且易操作, 例如一键归零功能和设**调整。防腐蚀**纯陶瓷传感器提供优异的零位稳定性（包括气压突变的情况），预期使用寿命长达数百万次压力循环。*有的传感器屏蔽（专利申请中）可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度补偿。CDG025D 为开机后快速稳定以及从气压中快速恢复的功能树立了新的标准。
特点
测量范围宽，为 1333 至 3 x 10-4 mbar（1000 至 2.3 x 10-4 Torr）
对流技术的使用可确保测量精度一致（通常为 ±15%）并且可重复 (±5%)，达到该领域水平
低运行成本
提供可更换的管件
Barocel 7025真空计
应用
基本真空测量和控制，在蒸发和溅射镀膜应用中从大气压到高真空。
一般真空测量 - 工业炉、建筑玻璃、半导体、冰箱和空调。
分析和研发应用 – 质谱分析、电子显微镜、、、光学和高能物理。
特点
复合真空计 – 冷阴极和皮拉尼，5 X 10-9 mbar 至大气压的较宽测量范围，倒磁控管没有灯丝，不会出现丝较烧毁的现象，的点火属性，易清洗，FPM 或金属密封馈入装置，LED 指示器，高压时亮起
对数模拟输出信号
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境，这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续真空状态，并使之持续维持在一个低位，以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体处的压力以及真空口处的压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体处和真空口处的压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接，以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来，以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行。另外，也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上，实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和**高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程
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