精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
Edge CDG025D2 with EtherCAT 0.1 … 1000 托 / 毫巴
带有 EtherCAT 的 INFICON 温度补偿型 Edge CDG025D2 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的较其准确的真空测量仪表。
成熟的温度补偿、防腐蚀、**纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有**的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获**的*特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节，另外还配有 EtherCAT 现场总线接口。
Conevctron热损失传感器提供从1X10-4托至大气压力跨越7个数量级的真空压力测量。膜片传感器技术测量真空空间内部和外部环境之间的差压，并在到达所设定的压差值时由设**继电器激活开始工作。
特点
在 10 mbar 以上压力下不受气体类型影响，在大气压力下具有高度的准确性和再现性，能够进行可靠、快速的大气压力检测，可配备钨丝 (PCG550)、镍丝 (PCG552) 或全陶瓷涂层 (PCG554) 传感器装置用于高腐蚀性应用，易于更换的即插即用式传感器与板载校准数据
特点
电子模块与规头合并在一起，降低了系统成本并节省了宝贵的机架空间
低输出阻抗和集成的法拉*屏蔽提供别的抗扰性，并允许使用长电缆（长可达 100 m）
低磁场型 XL 适用于敏感性应用，例如质谱分析和电子显微镜。
可更换的管体允许快速更换管件而*预校准
已获 CSA C/US 认证
274 Bayard-Alpert（热阴极）规管的压力指示是基于气体分子电离产生的连续电流。负电子由从加热的阴极以控制良好的固定速率射出并朝着带正电的栅较（阳极）加速运动。电子进入栅较和对地连接的收集较空间内。在这个空间内电子与真空系统中的气体分子碰撞产生正离子。然后正离子被位于柱状栅较中心轴处的接地的收集较收集。在固定的灯丝对栅较的电压和电子发射电流下，压力低于10-3Torr时正离子形成率直接与分子密度（压力）相关。离子流的强度在经压力单位调校的微安计上显示出来。由于压力的指数是线性的，热阴极BA规管通常在压力低于10-3Torr时被认为进行连续的压力测量时的。
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境，这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续真空状态，并使之持续维持在一个低位，以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体处的压力以及真空口处的压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体处和真空口处的压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接，以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来，以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行。另外，也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上，实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和**高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程
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