张家港真空计 泰兴真空计 354 Micro-ion

SKY® CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON SKY CDG160D 高温压力计是实现总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C，具有的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用**纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质，成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
特点
在 10 mbar 以上压力下不受气体类型影响，在大气压力下具有高度的准确性和再现性，能够进行可靠、快速的大气压力检测，可配备钨丝 (PCG550)、镍丝 (PCG552) 或全陶瓷涂层 (PCG554) 传感器装置用于高腐蚀性应用，易于更换的即插即用式传感器与板载校准数据

应用
半导体制造设于刻蚀, CVD, PVD, ALD
数据存储和OLED,LCD制造设备
工业真空设备
混气实验设备
一般高精度压力测量

特点
涵盖从5 × 10E-10mbar至大气压的压力范围
得益于紧凑设计而实现的节省空间安装
复合形式的真空测量，成本效益比
由于集成电子驱动单元，应用范围广泛

紧凑尺寸、高性能和坚固耐用、全金属外壳使得Micro-lon模块成为众多高真空应用的明智选择。
VSP63 1000到1 x 10-4 mbar 皮拉尼
应用实例
热敏合剂是通过短通蒸馏系统慢慢分离的。在高真空环境下蒸馏可以在相对较低的温度中进行。
挑战
待蒸馏的合剂是在一个圆柱体锅炉中加热的。该锅炉有一个热充油套管并在真空中加热。在整个蒸馏过程中内部压力必须被严格控制在10-3 mbar，并且需要被记录下来以备质量管理所需。
解决方案
紧凑型真空计VD64P常用于压力管理。可以通过两个干触开关点，控制一个真空阀和一个通风阀。搭配使用外部的真空规VSP63即可靠而又经济地实现真空控制。整个过程可以通过USB接口进行精准归档和记录。
应用领域
工业真空设备
真空炉
机械工程
分析仪器
包装机械
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