爱发科PVD-N1801真空泵保养 爱发科扩散泵ULK-06A保养

NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
•  活性气体（CVD、刻蚀等）。
•  排出非活性气体（溅射镀膜、   蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
•  用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
•  作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
•  冷冻干燥等水蒸气排气。

ULVAC涡旋泵维修
DIS/DISL系列：DIS-90、DIS-251、DIS-501、DISL-101、DISL-502

GLD系列油旋片式真空泵
特长
GLD系列是一种高性能、高质量、高可靠性的油旋片式真空泵。为了更好地提高散热效果，GLD系列产品在散热片部分进行了创新设计，从而实现了同类产品无可比拟的高真空。它还具有油位观察大，便于确认油污染状况、低震动、低噪音等优点。
用途
冰箱、空调、饮水机自动抽空线、照明理化学实验用、分析仪器用、激光应用机器、真空排气设备、电子显微镜的泵、半导体制造设备、溅射设备、真空镀膜设备、真空干燥器。

提供全国范围内的ULVAC爱发科罗茨泵维修保养,以下为我公司维修过的型号:
NB系列罗茨泵：
NB100B
NB300B
NB600B
NB1200B
NB2400B
PRC-A/PMB-C(M) SERIES罗茨泵：
PMB1200D
PMB100D
PMB100DT
PMB300D
PMB300DT
PMB600D
PMB600DT
PMB1200D
PMB1200DT
MBS SERIES罗茨泵：
MBS-052
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