精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
SKY® CDG025D-X3 4-20mA current loop 0.1 ... 1000 托 / 毫巴过程压力真空计
INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计，在苛刻的生产环境中具有稳定的性能。 的数字电子设备提高真空计的性能和易于使用的特点，如一键调零功能和设**调整。 抗腐蚀性的**纯陶瓷传感器具有的零点稳定性和预计数百万次压强周期（包括大气冲击）的长使用寿命。 特的传感器屏蔽（专利申请中）保护真空计免受过程污染。 坚固耐用的机械设计和数字电子设备改善了 EMC 兼容性、长期稳定性和温度补偿。 CDG025D 为电源接通后的快速稳定与暴露大气压后的快速恢复等特性设定了新标准。
VGC501 系列真空计控制器可与各种 INFICON 真空计一起使用，能够监测 10⁻¹⁰ 至1500 mbar（10⁻¹⁰ 至 1125 Torr）的完整真空压力范围和设**状态并记录相关数据。
Granville-Phillips Convectron真空计拥有30多年成功的现场安装经验，已成为低真空测量的行业标准。与传统的热偶规和Pirani真空计不同，Convectron真空计利用高压力时对流冷却的热损失效应·将其测量范围延伸至大气压。现今，在原有结构中增加压阻隔膜规配置强化了该模块在大气压端的性能。该传感器在大气端可提供高度可靠．精准及重复性号的差压指示从而提高了工艺效率和产能。
274 Bayard-Alpert
VD83 100 到5x10-4mbar 皮拉尼
VD84 100 到1x10-3mbar 外置皮拉尼
应用实例
液态气罐的真空绝缘保护了液态气免受环境热的影响。真空封装有效地隔绝了气罐和它的外部环境间的热传导。
挑战
为了确保绝缘功能的正常以及当气罐或其外壳发生泄漏时及时被侦测到，需要定期检测绝缘的真空状态。真空绝缘失败将会带来气体升温的风险，并导致危险的压力上升。
解决方案
用带可拆卸传感器探头的VD84真空计可以方便而快速地检测气罐中的绝缘真空。每个气罐配备一个单的传感器，它固定在绝缘封装中。真空计可以定期地与传感器连接，以检测内部的真空状态。
应用领域
服务和维护
低真空泵检测
真空干燥
真空离心机
冷却和冷冻技术
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎*维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
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