精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
SKY® CDG025D-X3 4-20mA current loop 0.1 ... 1000 托 / 毫巴过程压力真空计
INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计，在苛刻的生产环境中具有稳定的性能。 的数字电子设备提高真空计的性能和易于使用的特点，如一键调零功能和设**调整。 抗腐蚀性的**纯陶瓷传感器具有的零点稳定性和预计数百万次压强周期（包括大气冲击）的长使用寿命。 特的传感器屏蔽（专利申请中）保护真空计免受过程污染。 坚固耐用的机械设计和数字电子设备改善了 EMC 兼容性、长期稳定性和温度补偿。 CDG025D 为电源接通后的快速稳定与暴露大气压后的快速恢复等特性设定了新标准。
皮拉尼规管
PRG20K–NW16 AI
铝制传感器单元与钨丝
改进的温度补偿
PRG20K–DN16CF SS
钨丝和不锈钢传感器单元
耐过压
PRG20KCR–NW16 SS
铂丝与不锈钢传感器单元、陶瓷馈通件
非常适合于腐蚀性过程和水蒸气环境
应用
适用于处于 1 x 10-2 to 1 x 10-9 mbar 范围内的所有需要可靠稳定的压力指示的真空应用。
典型制程包括：
一般真空到工业镀膜机
真空炉
科学仪器
半导体等各种应用。
特点
电子模块与规头合并在一起，简化了系统设计并节省了宝贵的机架空间
范围广泛、符合标准的内部电源供给使用 +12 到 +32 V 的标准直流电，可承受电压波动
标准的模拟输出为 0 到 10 V 直流电，方便连接到计算机或 PLC
高精度和稳定性。精度为 ±0.2 全刻度，稳定性为 0.1% 全刻度
防腐蚀，设计坚固，暴露于真空中的材料是不锈钢 316 L 和哈氏合金 C276
机箱分级为 IP65
压力测量与气体类型完全无关，使这种真空计十分适合于使用氮气以外的气体的应用
出色的高压分辨能力，即使在接近大气压力时也能够分辨 1 mbar 的系统压力变化，使之十分适合于大型的慢抽速系统
技术规格
BAG050，EB-除气**高压裸电离真空规，能够测量：2×10E-11至10E-3Torr。
BAG051，电阻式脱气（I2R）裸电离真空规，能够测量：4×10E-10至10E-3Torr。
BAG052和BAG053，电阻式脱气(I2R)玻璃电离真空规，能够测量：4×10E-10至10E-3Torr。
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时，通常工艺过程中的压力需要**2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规，冷阴极用来小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程都在皮拉尼的之下，而冷阴极就可以被节省下来了，因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值，还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到**高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉
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