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YM-RL系列罗茨泵机组
组成
YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气机组。
用途
冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。
优点
•  无油、干燥、清洁。
•  在低温领域的均热化。
•  大抽速，可以缩短排气时间。
•  优良的耐腐蚀性。
•  低噪音、低震动。

Gatch系列皮拉尼真空计
显示器单元ISG1-N
本显示器为单通道显示器，与相应的规管连接后，可作为热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、隔膜真空计使用。与测量单元连接后，不但可显示测量压力，还可进行压力输出点的设定，能简单实现各种操作，且工作情况一目了然。通过显示器单元，可实现远程操作的控制及测量。另外，本显示器单元已通过CE，ROHS认证。
用途
•  可用于需要显示压力的真空设备。
•  可用于需要多个设**的真空设备。
•  可用于需要RS-485通信的真空设备。
特长
•  从大气压至5x10-8Pa均可显示。
•  3个设**信号输出。
•  输入电压：DC24V。
•  0~10V线性压力输出。
•  配备有标准的RS-485通信接口。
•  直观的LED显示。
•  各种单位可显示
•  已通过CE，RoHS认证。

NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
•  活性气体（CVD、刻蚀等）。
•  排出非活性气体（溅射镀膜、   蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
•  用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
•  作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
•  冷冻干燥等水蒸气排气。

ULVAC涡旋泵维修
DIS/DISL系列：DIS-90、DIS-251、DIS-501、DISL-101、DISL-502
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