精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
Gemini™ MxG5xx 大气压至**高真空真空计
INFICON Gemini™ 倒置磁控管真空计是所有真空测量应用（专利申请中）的动力源泉。Gemini将两个传感器系统整合在一个小装置中，测量范围从大气压至 1x10 – 9 毫巴。获得**的杂散磁场设计为全新的应用领域开启了大门。特的可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护，这使使Gemini成为同类产品中坚稳和经济的真空计。
Gemini冷阴极和组合真空计配备了完全集成的数字电子设备，使系统集成具有很强的灵活性。冷阴极和皮拉尼组合选项提供了跨越多个应用领域的无缝转换、可靠性、实用性和灵活性。
ASG隔膜真空计
Edwards ASG2是坚固、防腐蚀的隔膜真空计，可进行与气体无关的准确测量，范围从 2000 mbar 到 1 mbar 以及 1000 mbar 到 1 mbar。它可用作立的传感器，便于 OEM 和系统承建商开发灵活的低成本解决方案，满足其真空设备的需求。另外，它还可以连接到 TIC 仪器控制器，与其他很多类型的传感器结合使用，提供全面的真空仪器解决方案。
INFICON CDG025D电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计设计用于在严酷的制造工具环境中具有稳定的性能. 的数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整. 抗腐蚀的**纯陶瓷传感器提供的零点稳定性, 以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命.特的传感器屏蔽保护真空计防止过程污染. 经久耐用的机械结构和数字电子学提高EMC兼容性, 长期稳定性和温度补偿能力。
Edwards WRH热阴极宽量程测量仪提供了从大气压到10E-10mbar的测量能力，具有很高的准确性和重复性。
应用
ATC热电偶真空计十分适合于需要使用简单可靠的真空计来测量更高压力的情况。
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时，通常工艺过程中的压力需要**2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规，冷阴极用来小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程皮拉尼的之下，而冷阴极就可以被节省下来了，因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值，还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到**高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉
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