精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
PGE500 大气压至中真空真空计
INFICON 皮拉尼仪表增强型 500 (PGE500) 采用了市场上的数字对流增强型皮拉尼技术。由于对流的物理性质，这种皮拉尼型产品在 100 至 1000 mbar 的测量范围中可达到更高的准确度。坚固的仪表和传感器设计结合多种工厂内置功能，例如明亮、流畅而清晰的 OLED 显示器及集成键盘、RS485/RS232 数字接口和 4 种可选模拟输出信号，使得 PGE500 成为高/低拥有成本的选择。所有这些特点使该仪表适合众多需要低真空度**真空度范围的经济型真空测量功能的应用。
特点
压力测量范围从10-10托到10-2托
单校准的仪表提供10%的精度
模拟输出和RS-485通信
用于过程控制的两个设定值继电器
USB接口的设置和诊断
特点
方便的 ATM 和 HV 按键调整，节省空间的坚固结构，铝制外壳，任何方位安装，不锈钢的真空测量室
易于集成的对数讯号输出，10bar过压, 用螺纹连接，250°C 烘烤型选项，腐蚀性应用的镍丝，陶瓷馈入件用于较强腐蚀性的应用中(PSG510 和 PSG512)
可选设**
RoHS 认证
应用
前级真空测量（低真空测量），真空系统回路，电离真空计连锁应用，测真空的一般应用
Edwards APGX-H线性对流真空计具有从 1333 到 3 x 10-4 mbar（1000 到 2.3 x 10-4 Torr）的很宽的测量范围。对流技术的使用可确保了粗真空段内的准确性和灵敏度。
真空计结构紧凑，可以在任意方位安装，因此适合空间有限的情况。该真空计集成了设**和两个 LED，LED 可指示设**和真空计的状态。
B-A规的测量下限由这类型规管的X射线极限决定。X射线极限因不同规管设计而不同。阴极发射的电子与栅较及其支撑网碰撞产生X射线。由于BA规的几何结构原因，仅有一小部分发射的X射线会被收集较收集。当X射线碰撞收集较丝时，收集较上会有光电子发射。X射线电流限制了压力测量范围，使其等效压力下限到10-10或10-11Torr范围，取决于规管型号。早期的规管在栅较外有个柱状收集较，这种规管的X射线极限大约在10-8Torr。当气体非常稀薄且规管所获得的电流输出几乎全部都来源于X射线光电发射时，X射线极限就决定了规管小压力测量值。
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境，这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续真空状态，并使之持续维持在一个低位，以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体处的压力以及真空口处的压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体处和真空口处的压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接，以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来，以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行。另外，也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上，实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和**高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程
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