精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
BAG302 中到**高真空真空计
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）的广泛测量范围。紧凑型一体化热电离真空计 BAG302 能够轻松地更换双丝较传感器、内置 OLED 显示器、设**继电器和对数线性模拟输出以及集成 RS485 数字接口，提高了集成灵活性。这些功能配以坚固的设计，使 BAG302 为其自身的基本压力测量仪器带来经济且可重复的过程，并提供高/低拥有成本的选择。
Active 系列提供各类型的真空计，该系列真空计基于各种测量原理进行工作，并具有传统的模拟输出，该系列涵盖从**高真空到**压的相关真空范围。真空计的输出电压，与压力成正比，可以在三个控制器上显示为压力或通过模拟输入读入进行远程操作。每种测量技术都可用于立传感器或与互补测量技术结合，以在整个真空范围内获得性价比。
皮拉尼B-A型复合真空计
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计，BPG400，BPG402-S将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中（BCG450是B-A,皮拉尼,电容薄膜三证功能复合在一起），测量范围为 5×10-10mbar至大气压（3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。
通过降低点火后的 HT 电压以及采用低放电电流，延长了维修间隔和真空计寿命
结构较为紧凑，采用凹进式电气接头
易于维修；皮拉尼和磁控管元件均可以单更换
综合性故障模式诊断装置
微处理器信号处理允许在皮拉尼和磁控管输出以及线性输出之间无缝转换（记录压力刻度）
D 型接口包括电缆应变消除和增强的灰尘防护 - IP44
低磁场型 (SL) 适用于敏感性应用，例如质谱分析和电子显微镜
可轻松编程的设**涵盖整个测量范围
磁控管使用的**技术进行高度可靠的放电，即使在高真空或相对污染的环境下也无妨
自动为皮拉尼真空计元件进行真空设置
单一按钮大气设置
VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤，是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时，系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中，需要准确地控制旁路中的压力，以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中，腔体内的真空也需要被以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力，而且产品几乎不需要维护。作为选项，也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉
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