精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
MAG050 MAG060 冷阴极测量仪 - 被动
INFICON 被动冷阴极测量仪头 MAG050 和 MAG060 设计为搭配 INFICON 真空计控制器 VGC083C 使用。它们采用紧凑型金属设计，造就了适用于众多工业应用的简单而坚固的仪表。测量仪头 MAG050 采用橡胶内部密封圈，而 MAG060 测量仪头 使用金属密封圈，使压力测量处于 UHV 范围内。测量仪头组件易于拆卸和清洁，确保在长期使用中尽量减少停机时间。阳极上安装的测量仪头点火装置可缩短开启冷阴极测量仪头所需的时间。MAG050 可测量的压力低至 2 x 10-9 mbar，而 MAG060 能够测量低至 1 x 10-10 mbar 的压力。MAG050 的烘烤温度可高达 150 ℃，主要适用于不同的工业应用。MAG060 的烘烤温度可高达 250 ℃ 并能防辐射，凭借这一优势，它非常适合研发应用。
应用
任何需要在很宽的范围内测量压力的真空系统。
对于可能要将真空计直接集成到制程控制器中的工业 OEM 而言， WRG 成为一种明智的选择。
WRG 适合在多种 HV 和 UHV 应用领域中使用。但是，如果制程在 5x10-4 和 5x10-3mbar 之间花费的时间非常多，Edwards 建议采用立的 APG100 皮拉尼真空计和 AIM 潘宁真空计，因为这样将提高真空计在应用中的可靠性。
皮拉尼电容膜片复合真空计
INFICON 皮拉尼电容膜片式真空计 (PCG550系列) 将皮拉尼技术与电容膜片传感器的优点复合在单一产品中。在 10 mbar 和大气压力之间的测量范围内，电容隔膜技术不受气体类型限制，能够提供高度的可靠压力测量值。
VGC501 系列真空计控制器可与各种 INFICON 真空计一起使用，能够监测 10⁻¹⁰ 至1500 mbar（10⁻¹⁰ 至 1125 Torr）的完整真空压力范围和设**状态并记录相关数据。
皮拉尼B-A型复合真空计
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计，BPG400，BPG402-S将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中（BCG450是B-A,皮拉尼,电容薄膜三证功能复合在一起），测量范围为 5×10-10mbar至大气压（3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。
VD85 1200到5 x 10-4 mbar 压阻/皮拉尼复合传感器
应用实例
真空泵的系统性维护和维修能够帮助避免生产过程中的故障，并提高系统整体的可用性
挑战
为了真空泵的诊断和维护工作，需要纪录其达到的压值和泵的抽速特征。这些数据提供了真空泵实际运行环境和工作性能的基本信息。
解决方案
一只带有宽量程复合传感器的VD85真空计能够捕捉很多类型真空泵的压力，例如隔膜泵、涡旋泵、旋片泵等。同时，它能按照需要测量或者应客户要求纪录真空泵从大气到极限真空的整个抽真空过程。在这种情况下，真空计被用作数据记录器，在它的内存中存储测量值。通过USB接口，数据可以被传送到一台电脑上用于进一步分析和归档。
应用领域
检漏
质量**
服务和维护
真空蒸发器
镀膜设备
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